MEMS行业研究报告[1]

MEMS行业

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MEMS行业

第一章：微机电系统（MEMS）概述...........................................................................3

1.1 MEMS产业概况.............................................................................................3

1.1.1 MEMS的定义与种类.........................................................................3

1.1.2 MEMS发展历史.................................................................................3

1.1.3 MEMS市场发展趋势...........................................................................4

1.1.4 世界各国MEMS发展状况与政策支持.............................................5

1.1.5中国MEMS产业发展状况....................................................................6

1.1.6 MEMS技术概况.................................................................................6

1.1.7 MEMS设计技术.................................................................................6

1.1.8 MEMS制造技术...................................................................................7

1.1.9 MEMS封装技术.................................................................................9

1.1.10 MEMS与CMOS结合的趋势.............................................................10

1.1.11 微机电系统（MEMS）不同领域应用.........................................12

第二章：微机电系统（MEMS）市场动态.................................................................12

2.1 微机电系统（MEMS）市场热点产品运行状况透析...............................12

2.2 微机电系统（MEMS）市场动态概述.......................................................14

2.2.1 全球MEMS市场的增长态势...........................................................14

2.2.2 全球微机电系统市场销售额分析...............................................14

2.3 中国微机电系统（MEMS）行业市场发展环境解析...............................15

2.4 中国微机电系统（MEMS）行业现状.......................................................15

2.5中国微机电系统行业分析..........................................................................16

2.5.1 中国微机电系统（MEMS）行业特点分析...................................16

2.5.2 中国微机电系统（MEMS）行业所处阶段.....................................16

2.6 中国微机电系统（MEMS）市场政策环境分析.......................................17

2.6.1 微机电系统行业标准解析...........................................................17

2.6.2 国内支持政策解析.......................................................................17

2.7 中国微机电系统（MEMS）产业运行透析...............................................17

2.7.1 中国微机电系统（MEMS）行业动态分析...................................17

2.7.2 各区域发展动态...........................................................................18

2.8 中国微机电系统（MEMS）手机产业运行状况.......................................22

2.8.1 2011年中国手机产业市场走势分析..........................................22

2.8.2 中国手机产量统计分析.................................................................22

2.8.3 中国手机用户规模分析...............................................................22

2.8.4 2008年-2010年中国手机产销数据分析...................................23

2.8.5 中国电子行业用MEMS市场分析...................................................23

MEMS行业

第一篇：MEMS

第一章：微机电系统（MEMS）概述

1.1 MEMS产业概况

1.1.1 MEMS的定义与种类

MEMS是英文Micro Electro Mechanical Systems的缩写，即微电子机械系统，是利用微米/纳米技术基础，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的21世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元，不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息采取行动。

与传统机械系统相比，MEMS系统具备以下优势：

①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺寸的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。

②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。

③高精度和长寿命：由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好，不需校正调整，提高了可靠性。

④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。

1.1.2 MEMS发展历史

随着人类社会向信息化全面迈进，信息系统的微型化、多功能化和智能化成为人们不断的追求。随着微电子技术延伸和从二维到三维拓展至机械领域，人们发现除了电子信息功能之外，还需要完成从信息获取、处理、存储、传输到执行的系统功能，表现出比传统的通信元件具有更优越的内在性能，因此微电子机械系统（MEMS）技术开始得到普遍重视。MEMS技术将整个信息系统集成在单个芯片上，继续实现各种物理的、化学的和生物的敏感器(执行信息获取功能)和执行器，形成更广义上的系统集成芯片。业界普遍认为，世界经过昨天的晶体管时代，跨越现在的硅集成电路时代，开始进入明天的MEMS时代。

MEMS行业

MEMS发展历史表

1987年，美国UC Berkeley大学发明了基于表面牺牲层技术的微马达，引起国际学术界的轰动，人们看到了电路与执行部件集成制作的可能性，这是MEMS技术的开端。1988年，美国的一批著名科学家提出“小机器、大机遇”，并呼吁美国重视这一重大领域的开发。1993年，美国ADI公司采用MEMS技术成功实现微型加速度计的商品化，大批量应用于汽车防撞气囊，标志着MEMS技术商品化的开端。20世纪90年代，发达国家先后投巨资并设立国家重大项目促进其发展。此后，MEMS技术发展迅速，特别是围绕深槽刻蚀技术发展出多种新型加工工艺。最近，美国朗讯公司开发的基于MEMS光开关的路由器已经试用，预示着MEMS发展又一高潮的来临。目前，在微型加速度计、微型压力传感器、数字微镜器件（DMD）、喷墨打印机的微喷嘴、生物芯片等领域都实现了MEMS技术。国际上MEMS的专利数近年也呈指数规律增长，专利数目从20世纪70年代每年不到10个发展到1997年以后每年超过150个，表明MEMS技术进入产业快速 …… 此处隐藏：19391字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……