$ITO 透明导电膜玻璃生产及应用(2)

⑶直接镀制SiO2膜层(具有射频装置室)　　该设备可直接镀制SiO2(氧化硅膜),使ITO透明导电膜玻玻璃与搪瓷　2001年　29卷2期 55

$ITO 透明导电膜玻璃生产及应用

璃制造商可直接购买英、比、德、日等国生产的超薄玻璃原片,用该设备自行镀制SiO2膜,使ITO透明导电膜玻璃成本大为降低,获利上升。

⑷适合镀制各种不同性能的膜层　　该设备不仅可镀制TN型、STN型,还可镀PDP、ELD等多种导电膜玻璃的膜系,具有广泛的适用性。

⑸设计合理,易于保养　　该设备采用了模式化腔室的设计,并且各腔室尺寸结构一致,便于维护保养,且各腔室零部件均可通用互换。还可根据生产工艺要求,便利地增加或减少腔室与阴极数。

另外该设备一改过去需从空气中长距离返回的玻璃基架为新型的返回轨道薄膜沉积技术,使基片在首先镀制SiO2膜后,能迅速镀制ITO膜层,玻璃基片在设备一端进出,使玻璃基片架暴露在空气中的时间大为缩短,玻璃基片所受空气中的残留尘埃污染大大减少,产品质量得到提高。

莱宝公司1200-6型设备集真空技术和磁控溅射于一体,它能采用射频RF溅射SiO膜,用ITO靶材真空高温镀制透明导电膜层,又由于装置中的阴极采用移动磁场,使靶材利用率高达50%,而以往该设备的靶材利用率只有25%～35%,为此大大降低了ITO玻璃的生产成本。另外由于该装备中使用了分子泵,可使真空度达到8×10-5Pa以上,使空腔室无油渍污染现象出现。不但使设备运转稳定,且无机械摩擦,确保了各腔室的清洁度P,使用PC机操作管理,还配有在线光学透过率检测系统,采用PC。该镀膜装置生产出用于TN、STN、TFT,。该生产线还配有膜质检测仪(包括ITO、四探针电阻测试仪)。

2.2.2　近年来,ITO导电膜玻璃生产装置,大致情况如下:⑴TD-750型透明导电膜玻璃镀膜生产线　　机械工业部沈阳真空技术研究所与深圳南亚技术有限公司合作研制的国内首条TD-750型大规模自动化透明导电膜玻璃生产线自1994年投产后,产品性能良好,产品合格率达90%以上。该生产线生产的ITO透明导电膜玻璃主要技术指标已达到或接近引进国外生产线同等水平。该生产线的主机系全部采用不锈钢材料制造,基片为立式双面移动,连续磁控溅射镀膜方式。由基片清洗机进入装片台,通过预热、高温加热ITO膜镀制、退火、卸片后检验包装入库。设备主要技术指

)8片(14″)8标:极限真空度7×10-4Pa,有效镀膜面积850mm×750mm,生产节拍1架/3～4min(14″×14″×16″

片,加热温度300～400℃,基片架传输速度100～6000mm/min,产量12万m2/年,沉积速率15～20!/s。

TD-750型设备的主要特点:生产能力高(双面镀膜的基片架),基片立式装夹,传动系统在基片架下部,片状加热器(温度均匀)、软抽气系统(减少空间尘埃),低返油率的油扩散泵加低温冷阱的真空系统,生产工艺灵活,在线可调,自动化程度高,强磁场阴极低电压溅射,维修方便,造价仅为国外同类产品的五分之一。目前在国内ITO玻璃企业运行良好。

TD-750型设备第2代提高型也已面世,它采用磁控射频溅射SiO2膜的新工艺,直流溅射ITO膜方式。⑵SV1-680型系列大型连续镀膜生产线　　SV1-680型系列大型连续镀膜自动化生产线是由豪威科技(深圳)有限公司在消化吸收国外先进的ITO镀膜工艺设备后研制开发的产品。SV1-680型系列连续镀膜生产线的设备特点如下:

①装备采用了薄壁整体结构;

②开发了国际先进的直流脉冲溅射技术,并同样设有磁控射频溅射SiO2膜的先进工艺装置;

③运用了磁场扫描技术,提高靶材利用率10%～20%,降低ITO玻璃生产成本;

④具有4个靶室,可在线连续镀制4层以上不同材料的复合薄膜层;

⑤整套生产线全部采用国际先进的真空抽气系统、气流量控制系统、真空测量系统和自动压强控制系统,采用了精良电器元件材料;

⑥采用PLC实现全线自动化控制,镀膜过程、设备运行状态、工艺参数等均由计算机集中显示和处理,操作简便。

主要技术参数:极限真空度2.0×10-3Pa,镀ITO膜玻璃尺寸14″×14″、14″×16″

、14″×18″,最高加热温度350℃,传动速度100～6000mm/min,生产节拍1～2.5架/min,连续可调,镀膜源为8个磁场扫描磁控溅射镀 56 玻璃与搪瓷　2001年　29卷2期

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膜源,电源为DC,RF,DC+Pulse电源,可生产的主要产品品种及生产能力:TN型ITO透明导电膜玻璃25万m2/年,STN型ITO透明导电膜玻璃20万m2/年,电脑显示防护屏膜玻璃100万片/年,其它薄膜类产品,如SiO3、Al2O3等介质/绝缘膜。

豪威公司生产的SV1-680型ITO导电膜镀膜生产线目前在河北、安徽、广东4家企业先后投产,运行平稳。

目前国产沈阳TD-750型及豪威SV1-680型镀膜设备,无论装备线、能耗及生产的ITO导电膜玻璃质量,均达到或接近国际90年代的先进水平,在国内运行的国产ITO导电膜线已取得了良好的信誉,为我国ITO导电膜玻璃镀膜设备国产化作出了贡献。

⑶SJ-1600型镀膜线　　江苏金坛康达克投产的SJ-1600型透明导电膜玻璃生产线年生产能力可达250万片,该装置线消化吸收了德国和日本的最新技术,镀膜设备的产品质量达到了同类引进设备的水平。这条国产装备线已被国家科技部列入“国家重点新产品计划”。该生产线总投资2500万元,仅为同等规模的引进生产线的四分之一。

2.2.3　ITO透明导电膜用超薄玻璃基片

优质透明超薄玻璃基片是生产ITO(TN-LCD、STN-LCD、TFT-LCD)液晶显示器、模集成电路、光刻基板、光盘基片、-LCD液晶显示器等方面正大量应用。4、表面平整、无任何气泡、结石、麻点、目前英、日,以质量稳定、厚度范围广、透过率高而行销世界各国市场。我国生产ITO导电膜玻璃的十多家生产商至今仍靠进口上述国家的超薄玻璃基片来生产ITO玻璃。以来自英国、美国、日本的超薄片据多。秦皇岛电子玻璃厂90年代中期曾引进德国霍恩公司工艺及装备生产电子工业用超薄玻璃。随后黑龙江依安、湖南冷水江、四川自贡及广东中山均先后引进比利时格拉威伯尔的格法工艺拉制超薄玻璃,其间,深圳500t/d超薄浮法线投产,并开始试拉2mm以下超薄玻璃,但上述各厂家仍存在着厚度、平整度及透过率等质量方面一系列差距,特别是0.4～1.1mm超薄玻璃尚未批量上市。目前仅有深圳南方超薄浮法玻璃公司生产的2mm以下厚度的品种正在不断拓宽增多,用户们正翘首以待。值得庆贺的是我国凯盛(桐乡)信息材料有限公司在浙江桐乡破土动工兴建1条年产400万片TFT-LCD超薄玻璃基材生产线,预计2001年底投产,届时我国ITO玻璃制造商将可用上国内自己生产的显示屏用电子超薄玻璃基片。

目前超薄玻璃市场日趋看好,2mm厚透明超薄玻璃用作制镜、夹层玻璃配片、仪表和钟表面蒙玻璃、医用等占去市场的六成以上。0.4

～1.3mm超薄玻璃约占市场40%,并还在日趋升位。

国内市场上0.4～1.1mm超薄玻璃仍为日本、美国和英国的泊来品独占鳌头。日本浮法超薄玻璃由于质量好、价格适中,在国际市场上也十分畅销。日本小浮法线现可月产100万片,年产1200万片,批量向市场供应。

我国近5年来超薄玻璃市场需求正以每年10个百分点的速率递增,势头不减,其中0.4～1.1mm超薄玻璃一直是ITO玻璃商的抢手货。1996年市场需求200万m2,1997年需求量为300万m2,1998年400万m2,1999年450万m2,估计2000～2001年将突破500万m2。

值得注意的是,近日韩国一家企业与三星公司及LCD生产技术研究院共同开发成功目前世界上最尖端的玻璃切割装置。这种装置能够非常平滑而又精确无误地切割液晶显示器用ITO透 …… 此处隐藏：3249字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……