“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(9)

5.5项目（课题）主要骨干人员目前承担其它国家科技计划项目（课题）情况（请填写下表,如有未尽事宜应进行说明） 姓名 承担项目（课题）名称 项目（课题）项目（课项目（课题）开始 题）结束 经费数 （万元） 时间 时间 所属科技 计划 其他说明事项：

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六、项目（课题）组织方式及管理机制

6.1项目（课题）的组织管理（组织方式和机制、产学研结合、创新人才队伍的凝聚和培养等） 16

6.2项目（课题）与其他专项项目（课题）、其他科技计划的衔接方案（包括技术和产品研发链、产业化链、基础设施共享共用等方面）

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七、项目（课题）预算及筹资方案

7.1项目（课题）经费预算及说明（包括总经费和申请专项经费的支出和来源概算） 单位：万元 科目名称 一、经费支出 1. 设备费 （1）购置设备费 （2）试制设备费 （3）设备改造与租赁费 2.材料费 3.测试化验加工费 4.燃料动力费 5.差旅费 6.会议费 7.国际合作与交流费 8.出版/文献/信息传播/知识产权事务费 9. 劳务费 10.专家咨询费 11.管理费 12.其他 二、经费来源 1.申请从重大专项经费获得的资助 2.申请从地方财政获得的资助 3.单位自筹经费 4.其他经费来源 总预算 其中：专项经费 备 注 18

7.2预算说明（空间不够时，可加页说明） 以下两项是从科目和任务两个角度对经费预算进行说明，两项各自的总计应平衡。 （一）对各科目支出的主要用途、与项目研究的相关性及测算方法、测算依据进行详细分析说明。（未对支出进行分析说明的，一般不予核定预算） 1. 设备费 2.材料费 3.测试化验加工费 4.燃料动力费 5.差旅费 6.会议费 7.国际合作与交流费 8.出版/文献/信息传播/知识产权事务费 9.劳务费 10.专家咨询费 11.管理费 12.其他开支项

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