“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(7)

三、项目（课题）目标和任务 3.1 项目（课题）总体目标，考核指标（技术和经济效益，示范基地、中试线、试验平台和基地、生产线及其模式等相关产业化指标）

6

3.2 项目（课题）年度任务和考核指标

年度 年度任务 年度考核指标 重要任务的时间节点 年 年 年 年 年 7

3.3 联合单位任务分工情况

任务名称 联合单位 任务负责人 目标 研究内容 考核指标 重要任务的时间节点 建议专项经费（万元） 注：可根据内容自行调整

7

四、项目（课题）技术方案

4.1项目（课题）技术路线及其先进性和可行性分析（含技术引进消化吸收方案）（说明其主要技术创新点）

8

4.2知识产权和技术标准分析及对策（含国际竞争力分析）

9