线切割机操作指导书(3)

需要 70-90 秒); 6)将单晶的粘结面对准 BEAM 后快速压上，用手微微转动一下单晶，使单 晶表面均匀的布满胶；对有翘曲度要求和偏晶向要求的单晶要调整到 位，用量角器等工具测量即使调整好；(一般需要 30 秒); 7)将夹紧装置安装在单晶两头并夹紧，使单晶完全与 BEAM 粘着，但不 要太紧只要不让单晶滑移偏转即可、否则会粘不住单晶； 8) 等胶干固后 (5 分钟左右) 尽快用美工刀将溢出的多余部分去除干净， , 不要超过时间而且要注意刮胶力度和手势、否则容易使单晶崩边报废； 在 BEAM 上对应单晶的长度与加工编号、用记号笔做好标记； 9)根据单晶晶向偏差在铁块上将粘结部位用记号笔做好标记； 10)按 3~7 步骤将单晶连同 BEAM 一起粘在铁块做好标记的部位上(具体粘 结过程与粘单晶类同); 最后在单晶顶部粘一个导向用的小 BEAM 具体粘结过程与粘单晶类同) ( 。 11) *换取不同胶 时工具 一 定要先用酒精擦干净。 *夹紧时控制夹紧压力， 不要压得过重。 刮胶时要注意手势和 力度。 *在铁块上做 标记不 要 将偏转方向搞反。

6.3.2 晶锭安装 1) 选择 ingot holder, 如果切割 1 根 8 英寸以下硅单晶， 则选择单的 ingot holder,如果切割双根 4 英寸以下硅单晶，则选择双 ingot holder。 *要求头部靠 FL 切割 2)将选择好的 ingot holder,放在专用工具车的 lift trolley 上并夹紧， *切单根时 ingot holder 3) 旋转 lift trolley 后面的把手使 ingot holder 旋转 180°; 边上还有两颗锁紧螺 4) 把已粘好单晶的铁块(workpiece holder)根据《线切割作业记录》上的 丝。 加工位置放到 ingot holder 上，对准螺孔； *螺丝要紧一点，绝对不 (先拧紧中间 4 个) 许松动，但也不可过紧 ； 5) 用八颗螺丝把 workpiece holder 固定在 ingot holder 上 6) 旋转 lift trolley 后面的把手使 ingot holder 旋转 180°,把专用工具车 到线切割机工作台前； 会：使螺孔、螺丝打滑。

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7) 摇升 ingot holder 至刚过线切割机工作台导轨，对准导轨将专用工具 车导轨上的定位销卡入工作台导轨前端的定位槽上；再略微降低 lift trolley 与工作台导轨平齐； *旋转时注意方向，不要让 8)拔出 lift trolley 右边的定位销，推入 lift trolley 连同 ingot holder 至 单晶碰到 ingot holder. feed module 正下方卡位； 9) 在工作面板上按 “锁紧” 按钮 S113, 确认 ingot holder 已被 feed module 夹紧；松开 lift trolley 边上的夹紧装置； *必须由两位操作员同时 10)推出 lift trolley,将 lift trolley 推到专用工具车上，并锁上 lift trolley 右边的定位销；

11)提升 lift trolley 至刚过线切割机工作台导轨，移走专用工具车。 6.3.3 调整切割位置、零位 调整切割位置、 1)打开屏幕上的马达界面，按 F9 至 FEED MODULE 上升和下降界面； 2)按住操作手柄的顶部按钮，使指示灯为绿灯； 3)按 F4、F7 再按 S112 使 FEED MODULE 自动下降到前次切割零位； 4)仔细检查导向与线网接触情况； 5)按 F6、F7 使 FEED MODULE 变为手动模式； 6)根据线网与导向条的距离，旋转 S111 进行上下微调，同时注意导向 与线网接触情况； 7)当导向条与线网刚接触后略微向上调一点，按 F8 设置零位； 8)根据单晶直径、导向条厚度、BEAM 切深计算切割深度； 9)按 ESC 退到“2 屏”按 F6 进入“14 屏”将切割深度值输入。 *当单晶直径或根数发生 变更时进入 FEED MODULE 手动模式，按 S111 快速 下降到线网上方，再按照 步骤 6-9 进行调整切割位 置、零位。 进行操作。

切 割 深 度 按 切 入 BEAM 3mm 左右。

6.4 程序设定和输入 按照单晶的特性和加工的要求，从数据库中提取切割方案，制订当前 单晶的《线切割作业记录》。 在切割前，将《线切割作业记录》表中的切割程序，通过机器的控制 面板输入到机器电脑中。 进入操纵屏“22、23”屏相应输入各切割参数，按 F5 进入 17 屏，相 应输入切割程序。

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 6.5 切割之前的确认 切割之前需要确认和检查的事项有 1)小滑轮磨损情况 2)砂浆准备工作 3)线导轮的安装 4)检查导轮两端的防护箍 5)安装线轮 6)安装线网 7)防护罩 8)安装机器后面的砂浆管 9)检查线网的线压是否正常

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10) 砂浆桶 安装筛网、砂浆泵和搅拌泵，移动砂浆桶，关掉砂浆泵，连接上砂管， 连接..上砂浆泵和搅拌泵(电器插头),把搅拌泵的开关 M9 打开。 11) 确定砂浆是否已经更换 12) 13) 14) 15) 打开冷却水 打开压缩空气 打开主电源开关打开冷却循环 M7,并检查是否有泄漏； 打开砂浆泵 M8,确认喷砂嘴中有砂浆喷出到线网上，砂浆循环系

统正常工作； 16) 输入切割的参数并检查无误； 17) 关闭防护罩(Hood),罩住工作台，并关上滑门； 18) 将操作钥匙 S118 转到 Position OFF,消除报警 19) 打开所有的泵和马达； 20) 进入自动切割状态。 6.6 切割时定时检查 在切割过程中必须随时监控切割的轴承温度等各项参数和切割机、 动力、 冷冻机等的状况，以及切割屏幕上出现的各种报警信息。监控的各项参 数必须及时填入《切割记录表》。 如果遇到下列情形之一，将会停止自动切割模式，并可能断线： 1)马达钥匙(S119

)转到 OFF 位置；紧急刹车被按下。 2)出现报警，包括：断线、轴承过热、冷冻机停机、参数超过允值。 3)水、电、气动力切断。

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可以处理的异常： 1)轴承温度过热时，一般是由于阀门堵塞，通 1 下相关阀门即可。 2)冷冻机门常开，发现它跳闸后立即打开门，重新启动即可。 6.7 切割完成，关闭机器， 6.7 切割完成，关闭机器，取出切割后的硅片 1) 切 割 完 成 后 ， 机 器 报 警 ， 屏 幕 上 出 现 报 警 信 息 ”cutting finished ”,并自动停机。 2)将防护罩锁 S118 打至 ON; 3)按左边边缘的 open 按钮，打开防护罩 HOOD,提升到最顶端； 4) 检查线网和晶锭是否切割正常，有没有切割至设定位置，线网有 没有跳线； 5)打开屏幕上的马达界面，按 F9 至 FEED MODULE 上升和下降界面； 6)调整手动上升的速度为 10-30mm/min, 7)按住操作手柄的顶部按钮，使指示灯为绿灯； 8)按 F3、F7 后再按 S112 使单晶上升到零位； 9)按 F2、F7 后再按 S112 使单晶上升到单晶安装位置； 推入晶锭夹持专用工具车，并将车上的 lift trolley 推入工作台导 轨； 10)将 ingot holder 扣入 lift trolley,转动 lift trolley 右边的手柄 90°,确定 lift trolley 已锁紧 ingot holder;11) 按下面板上 *旋转时注意方向，不要 的夹紧按钮 S114 至松开状态，用手拨动 FEED MODULE 上的锁紧销至松开， lift trolley 连同 ingot holder 拉出至晶锭 让 单 晶 碰 到 ingot 将 夹持专用工具车； holder. 12) 用定位销销住 lift trolley,移出晶锭夹持专用工具车； 13)旋转 lift trolley 后面的把手，使 ingot holder 连同单晶旋转 180º,使单晶朝上。 13)用内六角螺丝刀拧出 ingot holder 背面的 8 颗螺丝，取下粘有 硅片的 workpiece holder,放至清洗槽内； 14)清洁 ingot holer 和机器；

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