线切割机操作指导书

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HNS/T 001-57-2005

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多线切割机操作指导书

发行年月日：

浙江长兴众成电子有限公司 硅片加工部

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2/23 HNS/T 001-57-2005 2005 年 2 月 28 日 审 查 制 定 复印号

适 用 线切割机的日常操作和维护 范 围 封面 目录、修订记录 1.流程图 2.相关文件 3.记录表格 4.使用机器·设备 5.使用材料 6.作业程序 7.异常处置 8.工序质量控制表 9.文件分发范围 第1页 第2页 第3页 第4页 第4页 第5页 第5页 第6页 第 19 页 第 22 页 第 23 页

目

录

修

订

记

录

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生 效 日

修

订

要

点

适 用 页 数

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 1.流程图

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页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 2.相关文件 文件名称 文件控制程序 质量记录控制程序 设备控制程序 工作环境控制程序 生产过程控制程序 检验和试验状态控制程序 产品标识和可追溯性程序 顾客财产控制程序 产品防护程序 监视和测量装置的控制程序 过程和产品的监视和测量程序 不合格品控制程序 数据分析控制程序 改进控制程序 3.记录表格 序号 1 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 表格名称 异常发生报告书 异常联络书 成绩管理图 生产进度管理图 异常发生报告书发行台帐 异常联络书发行台帐 异常联络书接收台帐 单晶定向粘结记录 线切割作业记录 BOW/WARP 测量记录表 每周检查/维护表 每月检查表 3 个月检查表 6 个月检查表 12 个月检查表 线切割问题报告 原材料管理表(电子版) 导轮使用管理表(电子版) 砂浆更换记录表(电子版) 编号 QP/HNS 012-001 QP/HNS 08-03-03 QP/HNS 012-003 QP/HNS 012-004 QP/HNS 012-006 / / QP/HNS 012-066 QP/HNS 012-067 QP/HNS 012-068 QP/HNS 012-069 QP/HNS 012-070 QP/HNS 012-071 QP/HNS 012-072 QP/HNS 012-073 QP/HNS 012-074 QP/HNS 012-075 QP/HNS 012-076 QP/HNS 012-077 文件编号 QP/HNS 04-01 QP/HNS 04-02 QP/HNS 06-02 QP/HNS 06-03 QP/HNS 07-06 QP/HNS 07-07 QP/HNS 07-08 QP/HNS 07-09 QP/HNS 07-10 QP/HNS 07-11 QP/HNS 08-03 QP/HNS 08-04 QP/HNS 08-05 QP/HNS 08-06

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页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 4.使用机器·设备 名 称 型 式

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使 ·进行硅单晶的切割

用

目

的

线切割机(wire saw) 冷冻机 (cooling unit) X-射线定向仪 晶锭夹持专用工具车 热水器或加热槽 电子天平 电子磅秤 5.使用材料 名 碳化硅(SiC) 聚乙二醇(Glycol) 钢线(wire) 树脂条(BEAM) 导轮(wire guide) 小滑轮(Puley) 胶(Resin and hardener) 压缩空气 KLUBER 润滑油脂 MOBIL 润滑油脂 LUBCON 润滑油脂 冷冻剂 称

DS263

KWW410-400 YX-2D

·为切割机提供冷却水 ·进行硅单晶锭的定向 ·夹持固定和搬运晶锭、导轮 ·产生脱胶所用热水

YP-1200 XK3190-A7 型 式

·称量粘胶 ·秤量悬浮剂、切割用砂 使 用 目 的

GC1200 PEG300 φ160μm 3、4、5、INCH 国产或进口 Q-BOND 1MR 4-7bar Isoflex Topas NCA52

切割时产生研磨切割的主耗材 作为 SiC 的悬浮剂和分散剂 线网和切割液载体 粘结单晶的载体 产生一定间距的线网 对钢线进行导向 粘结单晶、树脂条和铁块 驱动主轴运动 润滑机器进给、滑门以及心型轮主轴

Vactra Oil No.2 摆线装置的直线导轨 Turmpast MA2 BOSS-875 导轮的固定、活动轴承，以及主导轮连轴节 冷冻机使用必须

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 6.1 装配

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6.1.1 人员要求 这些装配必须由被公司授权的和受到全面训练的维护技师来执行。 装配线导轮 6.1.2 装配线导轮 6.1.2.1 准备工作： 1)准备好要安装上去的 3 个线导轮； 2)准备好安装用的工具车(说明书 P38,PICT10-5/4)、专用安装工具 、专用润滑油脂(Fin Grease 和 LUBCON))、力矩扳手等。 6.1.2.2 拆卸线导轮 警告：绝不允许将线导轮外表面(槽)作为放置面来放置。 不要损伤槽。 绝不允许将线导轮浸没在液体中。 前提：线网和导轮间的接收盘已经取出，机器已清洗和吹干。 按导轮 1#、2#、3#的顺序拆卸导轮，每个导轮拆卸的详细步骤如下： 1) 拆下活动轴承与固定轴承上的环形防护箍(P37, PICT10-4)并记录位置。 2) 将导轮转到合适角度，在活动轴承外端槽中安装把锁‘A’ (PICT10-3/1)。 拆下活动轴承外端锁紧螺母中的小螺丝(PICT10-2/3)。 拆下锁紧螺母(PICT 10-2/4)。 拿掉把锁‘A’。 3) 在线导轮上安装起(长)吊螺钉，并将悬吊装置(P38-PICT10-5/2)从小车 推倒切割机导轨上，合上导轨上的安全销。 调整悬吊装置的 2 个吊臂的槽，使它卡在锁紧螺丝下，转动悬吊装置 的星形扭手使悬吊装置和起吊螺钉扣牢，但不要太紧。 4) 在活动轴承侧安装“(轴承)撤退装置”withdrawal device(PICT 10-3/2)。 用撤退装置把活动轴承往后拉直到停止。 拆下连接杆(并在连接杆上记录导轮号和“FL”和“LL”的位置)。 5) 将起重小车与导轨连接，拔下导轨安全销。 用悬吊装置慢慢拉出导轮，要用星形扭手调节高低左右来避开障碍物 ，将导轮拉到小车上并锁好小车上的安全螺栓。 拉开小车。 6) 在导轮两端下方各安装 2 个支撑螺钉。 将有支撑螺钉的导轮放置到专用平台(车)。 用布清理导轮槽，气枪吹干净，记录导轮位置号。 用酒精和绸布擦干净轴承端面与卡槽，并在其上加油脂：树脂面加的是 Fin Grease,金

属面加 LUBCON。 7) 假如这些导轮暂时不准备再使用，要等有专用木箱可以放置后，再用 起重小车吊起导轮，拿掉支撑螺钉。之后要 2 个人抬，按 1#放在最下 面的原则，将导轮放进木箱。木箱安放位置要注意防潮防水。

*同一组导轮 编号大 的 为 3#,编号小的为 1#, 中间为 2#

*位置：1#、2#还是 3#, FL 还是 LL。 *务必先拆下小螺丝。

*一定要注意 FL 端的位 置和 LL 端的位置不能调 换，1#、2#、3#导轮的 位置和连接杆也不能调 换。一般导轮上号码大 的为 3#导轮，号码小的 为 1#导轮。 *每次安装前或卸下后， 都需要加油脂或润滑 脂，以防磨损。

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Legend 1 Plug of temperature sensor 2 Attachment of withdrawal device 3 Locking screw 4 Nut 5 Connecting rod

PICT 10-2: Movable bearing

1

2

3 PICT 10-3: Withdrawal device/twist lock Legend 1 Twist lock A 2 Withdrawal device 3 Outer diameter of movable bearing 4 Cover ring

4

PICT 10-4: Wire guide roller

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 1 2 3 4 5 6 7 8PICT 10-5: Suspension device for wire guide roller

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Legend 1 Star knob 2 Suspension device 3 Fastening bolt 4 Lifting carriage 5 Fix …… 此处隐藏：4257字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……