Centrotherm扩散炉培训

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培训内容

开机操作 生产操作 关机操作 维护保养 生产提示

开机操作(一)1、打开气柜压缩空 气的手动阀并调节 调压阀使其压力在 6Bar左右。 2、打开气柜氮气和 氧气手动阀，并调 节调压阀使其压力 在2Bar左右。

开机操作(二)3、打开电气柜上的 “Main Switch”在 “ON”位置，设备 上电；CMI电脑自 动启动。 4、打开设备冷却水， 先开出水阀，再开 进水阀。检查水压 在3-6kg /cm2 范围 内。

开机操作(三)5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“6065”, 进入CMI计算机的XP系统，自动启动CMI软件。 6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启 动“CESAR”系统。

开机操作(四)7、 设定各管“Paddle”温度为默认值，按下： “Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 8、设定升温速度为5℃/min,按下： “Manual/T_Paddle/All/RampPos”,输入“5”,并按确认键 “ENTER”。

开机操作(五)9、当温度到达500℃ 时，用手推动炉门 的气缸，使炉门关 闭。 10、顺时针打开TGA 上部调压阀，使压 缩空气压力恢复到 4Bar左右。

开机操作(六)11、打开恒温箱控制器的 黑色电源开关，检查 并确认设定温度20℃; 按下“RUN”按钮， 启动恒温箱。当实际 温度达到设定温度后， 才可生产。 12、当源瓶的磷源用尽需 要更换时，恒温控制 器会有液位报警提示， 需更换新的磷源。

开机操作(七)13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”,确认CMI上显示各管“CESAR” 正常；当“T_Paddle”达到设定温度，准备生产。 炉体加热部分共分5个温区，每个温区在600-1200℃范围内的精度 ±0.5℃。

开机操作(八)

Start:运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。 Stop:停止正在运行工艺，在任一时间按下“Start”按钮，被终止的工艺将被继续 运行。 Standby:如果没有运行工艺，按下Standby,所有设备参数恢复默认值和Standby 状态下设定值。如果正在运行工艺，按下Standby,使工艺一直保持在正在运行的 这一步；在按下“Stop”按钮之后，按下Standby,将自动终止工艺。

生产操作(一)1、检查“Slider”是 否在上料位置，若 不在，手动状态下 移到上料处： “Manual/Slider/t o port”。 2、把插好硅片的舟 放到“slider”上。 尽量使舟在 “slider”中间位 置。

生产操作(二)3、在“Setup”界面选择“Boat”项，选择一个舟号，进行工艺信息编 辑。 4、选择确定后，进入“boat activation”界面，点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to ‘Ready for processing’和‘Boat will be removed for unload’”复选框,再点击“Next”按钮。

生产操作(三)5、进

入“Handling information”界面，把舟上的编号输入到“Boat ID” 一栏，同时选择Load position为“Slider”,再点击“Next”按钮。 6、进入“Process tube selection”界面，选择需运行工艺的管号，在正 常情况下1-4管全部选中，再点击“Next”按钮。

生产操作(四)7、进入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置选择 “Slider”,在Boat state位置选择“Wait for tube”,再点击“Next”按钮。 8、进入“Process information”界面，选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮。

生产操作(五)9、进入“Summary”界面，显示3-8步输入的信息，核对无误后，点击 “OK”,信息输入完成。 10、在“Job”页面点击然 “Run” 按钮，回到自动运行状态。机械手自 动送舟到SiC桨上，开始运行工艺。

生产操作(六)11、当某一管的“Tube state” 显示蓝色时，需要人工输入信息，打开 相应管的CESAR界面。 12、在红色的对话框“Adjust temperature?”中输入需要修改的温度或 默认值，再在键盘上点击“Enter”键。

生产操作(七)13、在弹出的红色对话框“Adjust diffusion time?”中输入需要修改的时间或默认值，再 在键盘上点击“Enter”键。 14、在弹出的红色对话框“Adjust drive in time?” 中输入需要修改的时间或默认值，再 在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕，桨自动送舟到石英管，开始扩散工艺。

生产操作(八)15、当工艺运行完，自动取舟到“Storage”位置冷却；冷却后“Slider”自动取舟到下料 位置并伴有蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；再放上需要扩散的舟。 16、同时CMI电脑弹出“Boat Info”界面，点击“Unload done”按钮，在软件中完成卸 舟信息。 17、进入“Boat Info Mode Select”界面，选择“Wafer(Production wafer with host validation)”项，点击“OK”按钮。

关机操作(一)1、检查并确定各管工艺已运行完毕，设定“Paddle”温度为500℃: 按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,输入“500”并按 “ENTER” 确认。 2、逆时针旋转TGA顶部调压阀，关闭炉门的压缩空气，使压力为零。