12.8材料科学研究与分析方法复习题最新答案 - 图文(2)

16.加速电压为100KV和200KV时电子束的波长分别是多少？ 0.0037nm 0.00251nm

17.原子力显微镜、透射电子显微镜和扫描电子显微镜的分辨率各是多少？影响电子显微镜分辨率的因素是哪些？

分辨率：所能观察到的最小距离，既能分辨的最短距离称为显微镜的分辨率。 扫描电子显微镜（SEM）的分辨率：横向1—3nm;纵向低。

透射电子显微镜(TEM)的分辨率：横向点分辨率0.3—0.5nm;横向晶格分辨率0.1—0.2nm;纵向分辨率为0.

原子力显微镜(AFM)的分辨率：原子级横向0.1nm，纵向0.01nm。

根据光学理论，分辨率可表示为： d = 0.61λ/(nsinα)

d 为分辨率； λ为入射光的波长；n 为样品与物镜之间介质的折射率；α为半孔径角。

从公式 d = 0.61λ/(nsinα) 可以看出，

波长愈短，孔径半角愈大，介质的折射率愈大，则显微镜的分辨本领越高。 电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差来决定 已知衍射效应对分辨率的影响

∵ α很小通常10-2～10-3rad

因此，像差决定的分辨率主要是由球差决定的。

显然，存在一个最佳孔径半角则

得电磁透镜的分辨率为

1．比较分析二次电子和背散射电子的异同点？