电子枪(EBG-203UB6S)纳入调整手册(3)

·把電流表調爲任意值（如：10KW），調整EB操作盤ACC ADJ-VR。 ·EB操作盤調爲ON後，確認ACC警報器無點燈加速電壓正常。（EMⅠ電流表無偏轉） ※ACC警報器點燈的情況下，檢查高壓部分（銅線、grid assembly）的狀況。 ⑥ ST-AS10F部件的檢測 ·EB操作盤[ACC調爲ON。

·確認ST-AS10F部件的[POWER]指示燈（綠色）的點燈情況。 ·確認ST-AS10F部件的[E-REV]指示燈（紅色）無點燈。 ⑦ 預熱電流的調整

·確認EB操作盤的EMⅠ-VR調爲最小值（0）。

·選擇EB操作盤的EMI電流表RANGE切換開關爲[I]。 ·EB操作盤[ACC][FIL]調爲ON。

·EB操作盤的EMⅠ-VR爲0時，調整EB操作盤的VR-16，使光束稍微偏移。 ※出貨時ACC＝10KV，調整預熱電流爲1mA。

注意事項：因爲，在ACC＝6~8KV時,VR-16在調整前預熱電流電流量大。[特別是低功率的材料（MgF2等）

（8）光束位置的調整

① EB操作盤的X、Y位置旋扭旋轉到中央。

·EB操作盤的X、Y掃描旋扭旋轉到最左邊（最小）。

·EB操作盤ACC、FIL調爲ON，光束稍微偏出，確認光束的位置。 ② 光束位置比hearth中心偏向內側時 ·加強磁性 …選擇細的磁性調整棒

擴大磁性調整板与本體間的空隙 ③ 光束位置比hearth中心偏向FIL侧時 ·减弱磁性 …選擇粗的磁性調整棒

縮小磁性調整棒与本體間的空隙

※光束位置調整要領

首先，變更磁性調整棒，使光束位置与hearth中心附近保持一致， 然後，調整磁性調整棒，使光速与hearth中心保持一致。 ＜X位置動作幅度＞

（9）位置的調整

① X位置的動作確認

·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[XP]。

·EB操作盤的X位置的旋扭向右旋轉，光束向FIL側（前面）移動。

FIL 那時，確認電流表上指示值由0~右（+）側偏移。

X位置·EB操作盤的X位置的旋扭向左旋轉，光束向向內側移動。

的旋扭 那時，確認電流表上指示值由0~左（-）側偏移。

② X位置動作幅度的調整 最左邊 中央 最右邊

·EB操作盤的X位置旋扭向左右完全旋轉時，光束从hearth中心向hearth端（前後方向）運動時，調整EB操作盤VR-11（XP-GAIN）。

·調整後，EB操作盤的X位置的旋扭回復到中央位置。 ③ Y位置的動作確認

·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[YP]。

·EB操作盤的Y位置的旋扭向右旋轉時，光束向右側移動。 那時，確認電流表的指示向右（+）側移動。

·EB操作盤的Y位置的旋扭向左旋轉時，光束向左側移動。 那時，確認電流表的指示向左（-）側移動。 ④ Y位置動作幅度的調整

·EB操作盤的Y位置的旋扭向左右完全旋轉時，光束从hearth中心向hearth端（左右方向）運動時，調整EB操作盤VR-13（YP-GAIN）。

·調整後，EB操作盤的Y位置的旋扭回復到中央位置。

＜Y位置的動作幅度①＞ ＜Y位置的動作幅度②＞

Y位置 Y位置ＦＩＬ的旋扭 ＦＩＬ的旋扭

中央 最右邊 最左邊 中央 ＜X掃描動作幅度＞

（10）掃描振幅的調整

① X掃描動作的確認

·選擇EB操作盤MODE-SELECT開關[XS]。

X掃描·EB操作盤的X掃描旋扭由0~向右完全旋轉。

的旋扭 那時，確認電流表的指示由0~右側偏轉。

② X掃描振幅的調整

·由於光束向X方向（前後方向）擴展，如擴展到hearth端， 調整EB操作盤VR-12（XS-GAIN）。

最左邊（最小） 最右邊（最大） ·調整後，EB操作盤的X掃描旋扭回復到最左邊（最小）。

③ Y掃描動作的確認

·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[YS]。

＜Y掃描動作幅度＞

·EB操作盤的Y掃描旋扭由0~右完全旋轉。 那時，確認電流表的指示由0~右側偏移。 ④ Y掃描振幅的調整

·由於光束向Y方向（左右方向）擴展，如向hearth端擴展， 調整EB操作盤VR-14（YS-GAIN）。

·調整後，EB操作盤的Y掃描旋扭回復到最左側（最小）。

Y掃描

的旋扭

最左邊（最小） 最右邊（最大）

EMI-VR X、Y掃描的旋扭 ＜EB操作盤＞

ACC FIL

0FF

VR-11（XP-GAIN） VR-13（YP-GAIN） X、Y掃描的旋扭

VR-12（XS-GAIN） VR-14（YS-GAIN）

（11）功率的測試 ① 槍體内狀況的確認

·確認擋板的有無、打開与閉合的狀況

·確認铝製环圈等覆蓋在光學控制器、擋板轴、防護封套、傳感器、燈絲等的無污染情況。 ※因加大EMI電流，蒸鍍材料溶解，而槍體内就变髒。 ※加大EMI電流時，務必由負責人確認 ② 功率的測試

·旋轉EB操作盤EMI-VR時，確認EMI電流表的指示值向上，試用材料被加熱。

ＥＭＩ-ＶＲ ０.０ １.０ ５.０ １０.０ ＥＭＩ電流(3F) ０ｍＡ ８０ｍＡ ４００ｍＡ ８００ｍＡ ＥＭＩ電流(10F) ０ｍＡ １００ｍＡ ５００ｍＡ １０００ｍＡ ＥＭＩ電流(16F) ０ｍＡ １６０ｍＡ ８００ｍＡ １６００ｍＡ