电子枪(EBG-203UB6S)纳入调整手册(2)

電子槍電源（前面）

（6）通電測試 A部件 ① 電流斷路開關調爲ON。

·配電盤的電流斷路開關調向ON。 ·電子槍電源前面的NFB調向ON。 ·NFB爲ON後，確認下列項目 白色指示燈 c. 確認電子槍電源前面的白色指示燈的點燈情況 d. 確認電子槍電源前面的紅色指示燈的點燈情況 紅色指示燈 e. 確認電子槍電源的A部件的[OFF]的指示燈的點燈情況 f. 確認電子槍電源的FAN的整個回轉情況

※ 電子槍電源前面的紅色指示燈不點燈時，由於入力電源 的相弄錯，交換入力電源的[R]相与[T]相。

NFB調爲ON ② A部件[POWER ON]

·電子槍電源A部件的[POWER ON]的開關調向ON。

·開關調向ON後，確認[POWER ON]指示燈的點燈情況。

·開關調向ON後，確認EB操作盤的[OFF]的指示燈的點燈情況。 ③ 確認聯鎖裝置的動作情況

·確認EB操作盤的[PS]指示燈的點燈情況。

[PS]指示燈滅燈時，確認電子槍電源A部件的[FUSE(P)][FUSE(MG)][DOOR]的點燈情況。 ·確認EB操作盤的[V]指示燈的點燈情況。

[V]灭燈時，確認槍體内真空的聯鎖裝置情況。 ·確認EB操作盤的[W]指示燈的點燈情況。

[W]指示燈滅燈時，確認電子槍冷卻水的聯鎖裝置的情況。 ·確認EB操作盤的[AUX]指示燈的點燈情況。

[AUX]指示燈滅燈時，確認槍體的控制板等的聯鎖裝置的情況。 [PS] [V] [W] [AUX] EB操作盤

ACC FIL

0FF

④ 設定FIL切換開關

A部件的FIL選擇[￠0.8]（上側）的開關（紅色）。

A部件内的開關

＜A部件＞

FIL選擇SW（紅色） …上側

⑺光束的調整 ① 槍體的確認

·確診槍體的真空度（2×10-2Pa以下）。 ·確認電子槍、hearth的冷卻水的流量。 ② EB操作盤的確認

·EB操作盤的ACC ADJ-VRA（VR-15）完全向左旋轉。 ·EB操作盤的EMI-VR旋轉到最小值（0）。 ·EB操作盤的X、Y位置旋轉到中央的位置。 ·EB操作盤的X、Y掃描完全向左旋轉。

·EB操作盤的EXT/INTL切換開關調爲[INTL]側。 EMI-VR（0） X、Y位置的旋扭（中央） ＜EB操作盤＞

EXT/INTL ACC 切換開關 FIL

0FF [INTL]側 RANGE[Ⅱ] X、Y位置的旋扭（最左邊）

③ FIL動作測試

·EMI電流表的RANGE切換開關選擇爲[Ⅱ]。 ·EB操作盤[FIL]旋扭旋轉爲ON。

·慢慢旋轉EMⅠ-VR， EB操作盤EMⅠ電流表設定爲150mA，3-5分鐘鎢絲退火如果，放出grid部的氣體。

·慢慢旋轉EMⅠ-VR到MAX，確認EB操作盤EMⅠ電流表的指示大約在270mA。 ※EMⅠ電流表指示在0~約180mA時，A部件的FIL的切換開關變爲￠0.55側（下側）。 那時，A部件的FIL切換開關切換爲￠0.8側（上側）。

·FIL動作確認後，必須把EMⅠ-VR由最小值（0）調爲[OFF]。 ④ FIL動作的確認

·EMⅠ-VR旋轉到0~MAX時，確認FIL警報器無點燈。

※FIL警報器點燈時，需考慮爲FIL回路斷線，檢查銅線（壓着端子）、grid assembly（钨鎢絲安裝部位）的鬆弛程度。

·EMI電流表的指示值爲200mA以上時，確認實質上鎢絲點燈的明暗度。 ※EMⅠ表振動而實質上鎢絲的明亮度不够時，需考慮爲EIL回路的短路，檢查銅線、grid assembly

的安裝情況以及鎢絲的變形狀況。 ⑤ ACC動作檢測

·負責人確認使用的是加速電壓（ACC）。

金屬系列物質的情況下使用-10KW，而氧化物的情況下使用-6KW比較多。 ·再次確認槍體的真空度（2×10-2Pa以下）。 ·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[ACC]。 ·EB操作盤[ACC]調爲ON。