电子枪(EBG-203UB6S)纳入调整手册

電子槍（EBG-203UB6S）納入調整手冊

日本電子DATUM株式會社

産業機器維修部

〈注意事項〉

因使用高電壓，注意[觸電]事項

·在真空槍體内，有大氣時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。 ·安裝測定器時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。 ·調整電子束時，必須把控制盘安裝在電子槍電源上。

電子槍（EBG-203UB6S）、電子槍電源（JST-3F、10F、16F）納入調整時，请按照下列程序，進行操作。

（1）電子槍的接線 ① 地線的確認

·確認地線與真空槍體的連接情況。

·地線的接地電阻值爲［10Ω以下（A種）］ ② 確認端子接線部位線圈導線的連接情況 ·線圈的線色如圖所示 黑、紅…X掃描線

蓝、黃…Y掃描線

③ 低壓導入端子和電子槍的連接情況

·低壓導入端子的軟管不能阻礙住鎢絲的交換或其它機器的正常作業。 ·使用E圈，把低壓導入端子的軟管固定在連接部位封套上。 ·切斷低壓導入端子底部的白色、綠色兩根導線。

·低壓導入端子的導線与線圈的導線使其顔色搭配一致。 ·不要与其它顔色的導線壓着端子或封套接觸。

·安裝接線部位的封套時，注意不要夾住封套与電子槍本體間的接線。

端子連接圖 端子連接圖

不要夾住不要与其 与本體間它顔色的端子接線 的連接 端子接觸 部位 ④ 高壓導入端子和電子槍的連接

·確保高壓導線（銅線）之間的距離爲3mm以上。

·確保高壓導線（銅線）与高壓密封套間的距離爲10mm以上。 ·儘量保持壓着端子、高壓導線（銅線）与電子槍之間的距離。 ·連接銅線于高壓導入端子時，使用兩把螺絲鉗使其擰緊。（參照右圖） ⑤ 高壓密封套的確認 高壓導入端子 ·高壓密封套是完全覆蓋住高壓導入端子的。

※關於高壓密封套的形狀，请參照操作說明書（P4-6） ·確認高壓密封套的材質爲非磁性體（SUS、鋁等） ·確認電子槍与密封套之間沒有空隙

※一旦从空隙間混入垃圾掉進高壓部位（高壓導入端子、銅線），是常導致放電的原因，請注意。 ·保持高壓部位（高壓導入端子、銅線）与高壓密封套之間有足夠的距離。（10mm以上） ·安裝高壓密封套時，確認高壓部位与密封套間無接近部分。

（2）電子槍的確認

① grid assembly的確認

·確認(N18)的擰緊狀況（參照下圖）

※为防止由熱帶來的，N18旋轉30度左右最後向反方向回轉。（N18最後稍微回轉） ·確認Grid assembly固定用的小螺釘（N14）的擰緊情況（參照下圖） ※旋緊扭矩爲50N/cm（注意不要旋得過緊） ·確認不要傾斜安裝grid assembly。

＜Grid assembly＞

N18 固定用螺釘 (N14)

② 磁極片的確認

·使用規尺等確認FIL側的磁極片（N61）的平行度。 ·使用規尺等確認Hearth側的磁極片（N106）的平行度。

規尺 規尺 磁極片 （N61） 平行度的確認 ③ 磁力的調整

·安裝磁性調整棒（以下列數量爲基準） ACC 6KV時 …安裝￠14的磁性調整棒 ACC 5KV時 …安裝￠11的磁性調整棒 ACC 10KV時 …安裝￠7.5的磁性調整棒 ·磁性調整板維持現狀 ④ 冷卻水的確認 磁性調整棒 磁極片

（106） 平行度的確認

磁性調整板·確認冷卻水口左側爲IN，右側爲OUT。（參照下圖） ·確認冷卻水的上水道（水溫在30℃以下）、10升/min以上、壓力在0.4Mpa以下。

※實際上，根據冷卻水配管徑，冷卻水在10升/min時，無流水現象。通常，即使在6升/min時也沒關係，因燈絲等導致內部加熱時，必須規定冷卻水量爲（10升/min）。 （參考：出力爲1KW時，冷卻水量必須爲1升/min）

因燈絲等導致內部加熱，而冷卻水量不足時，O型密封圈会燒焦而漏出水，请注意。 ·真空槍體排气時，務必放出電子槍的冷卻水。

·因燈絲等導致內部加熱時，即使槍體内存有大氣时，也放出電子枪的冷卻水。

IN

OUT

⑤ 擋板位置的確認

·確認擋板的高度比hearth的上面高70mm以上。 ·確認擋板的材質（非磁性體） ⑥ 維護保養空間的確認

·由於鎢絲的交換，確認从電子槍側面的鎢絲交換口有80mm以上的空間。 ·確認磁性調整棒有交換的空間。 ⑦ 電子槍周邊的確認

·確認電子槍周邊無磁石、鐵等磁性體。

·確認在反射電子的情況下，沒有容易溶解的物質。 ⑧ hearth位置的確認

·確認hearth位置的正常性。

·Hearth回转軸每回轉一次，確認hearth移動一个位置。 ⑨ 放入試用材料到hearth時，確認槍體内的真空。

（3）電子槍電源的點檢

① 停止固定電子槍電源本體。 ② 拆卸電子槍電源的控制板。 ③ 加強固定電子枪電源内各組件。

·在EB電源左側P部件内，加強扭緊部品（繼電器、電容、二極管等）。

·在EB電源左側P部件内，確認安裝部品（二極管、電阻、變壓器等）的支架。 ·在EB電源内，加強扭緊電力回路部品（繼電器、調節阀、SCR部件等）。 ·在EB電源下部，加強扭緊高壓回路部品（變壓器、調節阀、電容等）。 ·在EB電源下部，確認烘焙板上安裝電阻（10W、1/2W）的支架。 ·在EB電源下部，加強扭緊天板上固定着的螺絲釘。

·在EB電源下部，加強扭緊二極管固定在天板上的螺絲釘。

·在EB電源下部，確認二極管与空心電阻器的連接的銅線的安裝情況。 ·在EB電源的ST-AS10F内，加強扭緊氖气電纜的連接部分。

（4）電子槍電源的連接 ① 連接入力電源

·把入力電源連接于電子槍電源的端子盤[R][S][T]。

·確認入力電源（3相200V）的配電盤上安裝的電流斷路開關的容量。

JST- 3F… 40A以上 ＜HV電纜的連接圖＞ JST- 10F… 60A以上

高壓導入端子 JST- 16F… 100A以上

② EB電源与EB操作盤間的連接情況 ·連接導線[W1]与導線[W2]。

·連接操作盤用的地線（5.5sq綠色）。 ③ EB電源与真空槍體間的連接情況 ·把COIL電纜連接到低壓導入端子。 ·連接EMSN回路線（22sq紅色）。

·把高壓電纜（W4）連接於高壓導入端子。 Cover ※不要把高壓電纜与其它信號的電纜束在一起。 （白色） HV電纜 ※不要忘記安裝高壓導入端子的白色密封圈。

④ 連接EB操作盤与真空槍體的控制盤。 ·連接聯鎖裝置的電纜。（參照下圖） ·連接GUN ON電纜。（參照下圖） ※ 有關聯鎖裝置、GUN ON電纜的連接情況，请參照操作說明書（P4-32）。

＜聯鎖裝置連接圖＞ ＜GUN ON連接圖＞

·連接外部信號接線柱（EXTⅠ、EXTⅡ、EMISSON）。

※有關外部信號接線柱的連接情況，請參照操作說明書（P4-32、33）。 ⑤ 確認地線的連接情況

·確認地線与真空槍體的連接情況。（接地電阻10Ω以下）。

·確認EB電源与真空槍體間EMSN導線（22sq紅色）的連接情況。 ·確認EB電源与EB操作盤間地線（5.5sq綠色）的連接情況。

※ 有關地線的連接情況，请參照下頁接線圖与操作說明書（P4-12）。

＜地線連接圖＞ EB電源（背面）

EB操作盤（背面）

真空槍體

接地點

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