闪耀光栅原理及其应用(2)

闪耀光栅是一种应用非常广泛的衍射元件，

其制备方法和选择材料都在不断得到改进．随着

硅微细加工技术的不断发展，制作硅光栅的技术也会相应得到提高，纳米级的压印技术已经出现ｎ’１５１．硅光栅的制作工艺与微电子、微机械制作工艺的兼容性，使得闪耀光栅的制造也变得不再困难．美国加州大学Ｂｅｒｋｅｌｅｙ传感器与改动器研究中心的科技人员使用各向异性刻蚀和多

自然辩证法

晶硅面微细加工工艺制作了可动闪耀光栅，器件分辨率，约为０．４

ｒｕｎ［Ｉ

Ｊ．这使得制作集成式微型

可以用来制作集成光谱仪，可以达到１４７０波长

光谱仪、集成光开关成为可能．

［参考文献］

［１］栾光辉，刘剑．硅光栅技术［Ｊ］．光机电信息，２００２（８）：１３一１５．［２］郁道银，谈横荚，等．工程光学［Ｍ］．北京：机械工业出版社，１９９９．

［３］石顺祥，张海兴，刘劲松，等．物理光学与应用光学［Ｍ］．西安：西安电子科技大学ｔＯ．版社，２０００．［４］谢敬辉，赵迭尊，阎吉祥。等．物理光学教程［Ｍ］．北京：北京理工大学出版社，２００５．

［５］苏嘉，张寅超。赵日峰，刘玉丽，洪光烈，赵培涛，屈凯峰，谢军．双光栅纯转动拉曼测温激光雷达单色仪的光学

设计［Ｊ］．中国激光，２００７（１）：９２—９６．

［６］曹彦波，王兴华，郇延富，于爱民，金钦汉．精密光栅单色仪接口与驱动电路的研制［Ｊ】．分析仪器，２００４（３）：ｌｌ—

１４．

［７］邵双运，余浩．基于光栅投射的光学三维测量仪的研制［Ｊ］．研制与开发，２００７（２）：３８—４０．［８］陈海燕，屠恒海．基于ＡＲＭ内核微处理器的光栅位移测量系统［Ｊ］．中国科技信．ｔ－，２００７（４）．［９］陶卫，浦昭邦，万松．反射式闪耀光栅楔形平板用于转角测量［Ｊ］．仪器仪表学报，２００１（６）：９６－９８．

［１０］郑春艳，郑国兴，周崇喜，杜春雷．闪耀光栅阵列用于半导体激光器列阵光束整形［Ｊ］．强激光与粒子束，２００５，１７

（ＳＯ）：６２—６６．

［１ｌ】江鹏飞，周燕，谢福增．闪耀光栅外腔反馈压窄半导体激光器线宽技术的研究［Ｊ］．光学技术，２００６（１１）：８６９—８７０．［１２］刘海见，王昌金，张玉叶．光栅笔划叠加显示信号测试中的汉字显示［Ｊ】．宇航计测技术，２００４（１２）：５６—６０．［１３］韩瑞新，刘小江，朱红胜，祝笑舟．基于光栅扫描的雷达显示系统仿真【Ｊ］．计算机仿真，２００５（１１）：２４—２７．［１４】于慧颖，鲁敏，雍少为．雷达ＰＰＩ光栅扫描显示系统设计与实现［Ｊ］．国防科技大学学报，２００７（１）：６５—６８．［１５］赵捷．闪耀光栅数字微镜显示技术【Ｊ］．现代显示，２００６（１）：３９—４４．

［１６］杨俊波，苏显渝，徐平．自由空间微闪耀光栅解复用器［Ｊ］．光学技术，２００６（８）：５３３—５３６．［１７］杨俊波，苏显渝．自由空间的微闪耀光栅光开关［Ｊ］．光电工程，２００６（９）：１１９—１２３．［１８］Ｃｈｒｉｓｔｏｐｈｅ

Ａｎｔｏｉｎｅ，Ｘｉａｎｇ

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［１９］ｘ．Ｍ．Ｚｈａｎｇ

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Ｉ，Ｊ．ｚ．Ｈａｏ，Ｄ．Ｙ．Ｔａｎｇ，ＣＬｕ．ＭＥＭＳＬｒＩＴＭＡＮＴＵＮＡＢＬＥＬＡＳＥＲＵＳＩＮＧＣＵＲＶＥ

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ｏｓｙｓｔｅｍｓ，Ｓｅｏｕｌ，Ｋｏｒｅａ，Ｊｕｎｅ５—９．２００５：８０４—８０７．

［２０］ＨｉｔｏｓｈｉＴａｍａｄａ，ＡｙｕｍｕＴａｇｕｃｈｉ，ＫａｚｕｎａｏＯｎｉｋｉ，ＫｕｎｉｈｉｋｏＳａｒｕｔａａｎｄＹａｓｕｙｕｋｉｌｔｏ．ＨｉｉｓｈＣｏｎｔｒａｓｔ

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自然辩证法

闪耀光栅原理及其应用

作者：作者单位：刊名：英文刊名：年，卷(期)：被引用次数：

张发国， 喻洪麟， ZHANG Fa-guo， YU Hong-lin

重庆大学,光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400044重庆文理学院学报（自然科学版）

JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY OF ARTS AND SCIENCES2008，27(1)2次

参考文献(20条)

1.栾光辉.刘剑 硅光栅技术[期 …… 此处隐藏：2353字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……