电性能vs失效分析2(2)

来源：网络收集时间：2026-08-30

导读： UOC影响因素 UOC影响因素开路电压低材料本体工艺因素硅片电阻率高硅片质量较差少子寿命低硅片厚度厚制绒表面损伤层未完全去除，减薄量小扩散PN结质量较差扩散炉管洁净度差 PE钝化效果较差扩散钝化

UOC影响因素 UOC影响因素开路电压低

材料本体

工艺因素

硅片电阻率高

硅片质量较差少子寿命低

硅片厚度厚

制绒表面损伤层未完全去除，减薄量小

扩散PN结质量较差扩散炉管洁净度差

PE钝化效果较差扩散钝化效果较差

网印背电场效果较差

Rsh小暗电流大

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