欧姆龙Mems流量传感器选型

D6F-PH

MEMS差压传感器

小型、高精度、耐环境性能卓越的差压传感器

● ±3%RD的高精度。

● 具备直线补偿、温度补偿功能。● 数字输出(I2C通信)。

● 高流量阻抗减少旁路配置的影响。

符合

RoHS

■种类

＊1. 适用流体以外的气体种类请向本公司营业人员咨询。＊2. 不含灰尘、油污、油雾等物质的干燥空气＊3. 标准大气压(1013.25 hPa)时的压力

■输出电压特性

D6F-PH0025AD1

D6F-PH0505AD3

700007000060000600005000050000 40000 40000 30000

30000200002000010000

10000

00050100150200250ˉ50

ˉ30ˉ1010

3050

Pa Pa

测量条件：电源电压 DC3.3±0.1V、环境温度 25±5℃、环境湿度 35～75％RH测量条件：电源电压 DC3.3±0.1V、环境温度 25±5℃、环境湿度 35～75％RH差压转换公式：Dp

＝(Op－1024)/60000×250差压转换公式：Dp＝(Op－1024)/60000×100－50Dp：差压Dp：差压Op：输出Op：输出

D6F-PH5050AD3

700006000050000 40000

300002000010000

ˉ0500

ˉ300ˉ100100300500

Pa

注. 气体密度的变化会影响传感器输出。

大气压的变动按下列公式得到补偿。测量条件：电源电压 DC3.3±0.1V、环境温度 25±5℃、环境湿度 35～75％RHDpeff＝Dp×(Pstd/Pamb)

Dpeff ：有效差压差压转换公式：Dp＝(Op－1024)/60000×100－50Dp ：输出差压

Dp：差压Pstd ：标准气压(1013.25hPa)Op：输出

Pamb ：实际环境下的气压(hPa)

1

D6FP H

D6FP H

MEMS

差压传感器

■额定值/性能

＊1. 标准大气压(1013.25 hPa)时的压力

＊2. 不含灰尘、油污、油雾等物质的干燥空气

＊3. D6F-PH基于热对流原理。测量差压需以空气流通为前提。

流量与差压之间的典型关系即如下所示的特性。

注. 零点精度和满量程精度为独立的误差，并非同时满足。

压力与流量的关系

60 40 20 mL/min0ˉ20

ˉ40

ˉ0500

ˉ300ˉ100100300500

Pa

2

MEMS

差压传感器

3

D6FP H

D6FP H

MEMS差压传感器

■请正确使用

(6) 关于使用

· 本产品为精密设备，掉落或受到过度冲击、受力可能会造

D6F以常规机器中的使用为目的而制造。尤其是在用于下列对安成故障或特性变化，应避免使其掉落、分解罩盖等或对端全性有要求的用途时，应采取失效安全设计、冗余设计并实施定子部施加过大的力。请勿使用掉落过的产品。

期检查等，在确保系统与设备整体的安全性的前提下使用。·本产品请在得到管理的静电放电保护区域内进行使用。

· 以人体保护为目的的安全装置· 运输设备的控制(行驶停止用途等)●关于使用环境

· 航空航天设备不可在以下环境使用。

· 核能设备等·直接承受加热设备的辐射热的场所不可将D6F

用于其动作直接关乎人命的用途。

·会沾染水分、油污的场所·阳光直射的场所·温度变化剧烈的场所·可能会结冰、凝露的场所应在设备电源切断的状态下进行传感器的设置。如果在电源接通·振动、冲击影响较大的场所

的状态下进行作业，可能会造成触电和误动作等。

●关于噪声对策

使用注意事项

可能会无法正确测量噪声。使用时请采取以下措施。●关于流体和配管安装、传感器安装

· 应尽可能设置在远离产生较强高频的设备(高频焊接器、高频〈共通〉缝纫机等)和产生浪涌电流的机器的地方。(1) 应使用清洁的流体。灰、雾可能会导致特性变化和故障，应· 应在产生噪声的周边设备(特别是电机、变压器、螺线管、励在配管上游侧设置滤网、油雾分离器。

磁线圈等具有电感成分的物体)上采取浪涌电流吸收器或噪声(D6F-W□A1、D6F-V、D6F-P、D6F-PH除外)过滤器等噪声对策措施。

(2) 适用流体以外的可燃性气体(氢气等)、腐蚀性气体(氯气、(将配管或导管分离设置、使用屏蔽线等方法也有屏蔽噪声的硫、酸、碱等)是导致故障的原因，请勿使用。效果。)

(3) 对于适用流体以外的流体，不属于性能保证范围。(4) 配管内异物混入是导致故障的原因，从包装袋内取出后，应●关于电源

防止异物进入配管内。· 应在确认端子名称与极性的基础上正确配线。错误配线会导致(5) 配管安装时，注意使流体沿本体上标示的箭头的方向流入。内部的部件发生故障。配管错误的状态下无法正确测量。· 使用市售的开关式稳压器时，应对FG(框架接地端子)和G(接地(6) 配管建议采取水平的安装方向。安装方向不水平时，可能会端子)进行接地。

出现±1％F.S.以上的误差。(D6F-03A3除外)(7) 传感器应安装在平面上。未正确安装时，可能会导致故障或关于RoHS指令

无法正确测量。停止使用6种RoHS限制物质的产品(包括工序内以及电路板上搭(8) 传感器安装后务必实施动作确认。载的电子部件)的包装上标示有RoHS标志。

(9) 请勿使传感器掉落或对罩盖等进行分解。※ 由于供应商的原因，已经作为符合RoHS的零部件如被判断为不符合RoHS的产品等时，不得已会将标志取消。

〈D6F-PH0025AD1/-PH0505AD3/-PH5050AD3〉(1) 根据周围环境和安装位置，可能会有尘埃等异物进入传感器●RoHS符合判断基准

并附着在内部，导致流路部分或全部堵塞。从而可能会导致RoHS指令6种物质的符合判断使用以下基准。。传感器无法发挥前述特性，因此采用时应对此有充分的理(RoHS指令适用豁免项目除外)解，在通过贵公司实际设备进行事前评估的基础上使用。·铅 ：1000ppm以下 ·六价铬 ：1000ppm以下(2) 配管安装时，请使流体从高压侧流向低压侧。·汞 ：1000ppm以下 ·PBB ：1000ppm以下(3) 安装传感器时，请使用M1.8平头螺丝或具有同等直径的自攻·镉

：100ppm以下

·PBDE ：1000ppm以下

螺丝，紧固扭矩请设置为0.36N·m以下。(4) 传感器的输出会受到配管长度的影响。

最长800mm的配管(内径4mm)的误差为1％以下。(5) 关于连接

·配线时不可搞错端子的极性，否则会导致故障。 ·请勿使用DIP焊接(流动焊接)。

·请将产品固定在基板上后进行焊接。 · 焊接条件请使用电烙铁，并设置为加压100gf以下、温度

350℃、时间5秒。

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