触摸屏生产工艺核心技术

黄光制程简单介绍作者：致诚数码 百度文库：ivanlyp

目录 What

to do?要做什么？

How

to do?怎么做？the matter?怎么了？

What’s

当前市场上主要的触控屏种类电阻式 电容式 红外线式 表面声波式

就是它了…… 电容式触控屏是一块四 层复合玻璃屏，玻璃屏 的内表面和夹层各涂有 一层ITO(镀膜导电玻 璃),最外层是一薄层 矽土玻璃保护层, ITO涂 层作为工作面, 四个角 上引出四个电极，内层 ITO为屏蔽层以保证良 好的工作环境。 当手指触摸屏表面时，就会有一定量 的电荷转移到人体。为了恢复这些电 荷损失，电荷从屏幕的四角补充进来， 各方向补充的电荷量和触摸点的距离 成比例，我们可以由此推算出触摸点 的位置

Sensor

有一种东西叫： ITO 透明导电材料 PI 光阻绝缘层 Metal

Mo/Al/Mo结构1.任何触控屏，要对Touch这个动作作出反应，必须对触摸点进行定位； 2.TPK产品是一个二维平板，需要X和Y两个坐标进行定位； 3.TPK产品属于(投射型)电容式触控屏，感应电容触摸屏检测到的触摸位置对 应于感应到最大电容变化值的交叉点，对于X轴或Y轴来说，则是对不同ITO模块 的信号量取加权平均得到位置量，系统然后在触摸屏下面的LCD上显示出触摸点 或轨迹。

我们的目标是：

让Sensor在X和Y方向上各自独立地导通

认识一下Sensor

图中网状图形称为pattern

金手指

黄线部 分称为 Trace 返回

浅色部分在X 方向上导通

放大

深色部分在Y 方向上导通

当前主要的技术路径

Bridge正制程： Pattern PI Jumper (+Trace)

Via hole结果是等 效的

反制程：

Jumper PI

Pattern Trace

粗略的生产流程：

来料玻璃

Sheet最终成品！ pcs

常见尺寸： 370×470mm 厚度则有0.33、0.4、 0.5、0.55、1.1、 1.3mm不等

一路OK Boding、贴合等白光制程

什么是黄光？

黄光制程：来料玻璃

黄光制程由此开 始

作出所需的图形ITO、Metal、PI制程 为Sensor提供第一层保 护

Passivation (Organic)

为黄光后的工序作准备蚀刻膏印刷/可剥胶印刷

切割

黄光制程到此结 束

整个制程的相关示意图-1

微影技术！光阻塗佈

清洗

烘乾

顯影

曝光

PI和Passivation制程只需到这一 步

整个制程的相关示意图-2

ITO和Metal制程仍需继 续进行以下几步：

蝕刻

剝膜

檢查

Process flowITO Patterning FlowITO PatterningGlass Cleaning IR/UV/CP PR Coating Pre-Bake Pattern Exposure

工艺流程Developing Back side PR Coating

Stripping

Etching

Post-Bake

PI / Organic Patterning FlowPI PatterningGlass Cleaning IR/UV/CP PR Coating Pre-Bake Pattern Exposure Developing

Oven

Metal Patterning FlowMetal PatterningGlass CleaningIR/UV/CP

PR Coating

Pre-Bake

Pattern Exposure

Developin

g

Post-Bake

Stripping

Etching

各制程效果图 (以Spark为制版)ITO

PI

Metal (已喷AG)

反制程全制程

主要机台和常用药液

分为： Roller式 Slit式 Spin式

涂 布 机 ：

清洗设备

清和曝光机 DNK曝光机

限于篇幅，仅举部分实例！

曝 光 设 备

常用药液序号1 2 3 4 清洗液 清洗液 PR coating使用 光阻 显影使用显影液 AI 蚀刻液 ITO 蚀刻液 ITO 蚀刻液 ITO剥膜液

项目FIisher 2000-5A(环保清洗剂) FPD-120 另述

备注Metal制程不使用 所有制程均可使用 非常重要，品种繁多

TMAH(氢氧化四甲铵) KOH(氢氧化钾)PAE85-2-13(磷硝醋混酸) 草酸 PE-560(HCl+KCl) NaOH/KOH 酸性较弱，用于低温ITO 效果较强

5 6 7 8

常用药液：接上序号 9 Metal 剥膜液 项目 NMP溶液/3316剥膜液 备注

10 11 12

Metal光阻残留擦拭药液 擦拭设备 清洗光阻(洗roller)/PR稀释剂 清洗光罩

丙酮 异丙醇/无水乙醇(98%) PGMEA 超高纯电子级无水酒精 (99.9%)

13

14

蚀刻SiO2

BOE(NH4F/HF)