电子元器件抗ESD技术讲义

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引 言 ......................................................................................................... 4 第1 章 电子元器件抗ESD损伤的基础知识 ...................................... 5

1.1 静电和静电放电的定义和特点 ...................................................................................... 5

1.2 对静电认识的发展历史 .................................................................................................. 6 1.3 静电的产生 ...................................................................................................................... 6

1.3.1 摩擦产生静电 ....................................................................................................... 7 1.3.2 感应产生静电 ....................................................................................................... 8 1.3.3 静电荷 ................................................................................................................... 8 1.3.4 静电势 ................................................................................................................... 8 1.3.5 影响静电产生和大小的因素 ............................................................................. 9 1.4 静电的来源 .................................................................................................................... 10

1.4.1 人体静电 ............................................................................................................. 10 1.4.2 仪器和设备的静电 ............................................................................................. 12 1.4.3 器件本身的静电 ................................................................................................. 12 1.4.4 其它静电来源 ..................................................................................................... 12 1.5 静电放电的三种模式 .................................................................................................... 12

1.5.1 带电人体的放电模式(HBM) ............................................................................. 13 1.5.2 带电机器的放电模式（MM） .......................................................................... 14 1.5.3 充电器件的放电模型 ......................................................................................... 14 1.6 静电放电失效 ................................................................................................................ 15

1.6.1 失效模式 ............................................................................................................. 15 1.6.2 失效机理 ............................................................................................................. 15

第2章 制造过程的防静电损伤技术 ................... 错误！未定义书签。

2.1 静电防护的作用和意义 ................................................................ 错误！未定义书签。 2.1.1 多数电子元器件是静电敏感器件 ..................................... 错误！未定义书签。 2.1.2 静电对电子行业造成的损失很大 ..................................... 错误！未定义书签。 2.1.3 国内外企业的状况 ............................................................. 错误！未定义书签。 2.2 静电对电子产品的损害 ................................................................ 错误！未定义书签。

2.2.1 静电损害的形式 ................................................................. 错误！未定义书签。 2.2.2 静电损害的特点 ................................................................. 错误！未定义书签。 2.2.3 可能产生静电损害的制造过程 ......................................... 错误！未定义书签。 2.3 静电防护的目的和总的原则 .......................................................... 错误！未定义书签。 2.3.1 目的和原则 ................................................................................. 错误！未定义书签。

2.3.2 基本思路和技术途径 ........................................................... 错误！未定义书签。 2.4 静电防护材料 ................................................................................ 错误！未定义书签。

2.4.1 与静电防护材料有关的基本概念 ..................................... 错误！未定义书签。 2.4.2 静电防护材料的主要参数 ................................................. 错误！未定义书签。 2.5 静电防护器材 ................................................................................ 错误！未定义书签。

2.5.1 防静电材料的制品 ............................................................. 错误！未定义书签。 2.5.2 静电消除器（消电器、电中和器或离子平衡器） ........... 错误！未定义书签。

信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心

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2.6 静电防护的具体措施 .................................................................... 错误！未定义书签。

2.6.1 建立静电安全工作区 ......................................................... 错误！未定义书签。 2.6.2 包装、运送和存储工程的防静电措施 ............................. 错误！未定义书签。 2.6.3 静电检测 ............................................................................. 错误！未定义书签。 2.6.4 静电防护的管理工作 ......................................................... 错误！未定义书签。

第3章 抗静电检测及分析技术 ......................... 错误！未定义书签。

3.1 抗静电检测的作用和意义 ............................................................ 错误！未定义书签。 3.2 静电放电的标准波形 .................................................................... 错误！未定 …… 此处隐藏：6261字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……