薄膜工段质量异常案例分析

二、薄膜工段CVD、台面质量案例分析

案例1

F3DG9012 DH-75等三大批中部分圆片表面严重发花，因无法返工，降级处理。

原因分析

由于AEC-2200的部分热板出现变形，对圆片的CVD均匀性造成影响。 解决方法

通过做CVD均匀性，确认变形的热板，进行校正，进行均匀性试验，操作工在清楚设备状态的好坏情况下，才可进行工艺。

案例2

F3CG1015 DG-67等三个大批的AL上CVD偏薄，影响光刻腐蚀的均匀性。

原因分析

由于在做正片时，忘了放测试片，而当时先行片尽管结果在工艺范围，但在工艺过程中，SiH4的流量计出现问题，由于没有放本番测试片，造成对圆片的表面的膜厚无法判断。

解决办法

按照CVD条件管理的要求，在先行做好后，每个大批正片必须做本番，这样即使设备出现问题，ALCVD的膜厚变化可从试片的情况判断是否

有异常，后面的圆片可避免出现问题。

案例3

F3DG1815A DC-16B 8片UDOCVD无淀积，Em扩散后报废 原因分析

由于设备在运行中，SiH4流量计故障，没有流量。

解决办法

维修人员对设备的维修一定要彻底到位。在操作过程中，设备在运行中检查的重点项目要清楚（气体压力和流量、温度和冷却水）

案例4

F3DA3105 DA-2A 做PECVD工艺，由于没有打开反应气体,造成SiN膜异常，由于没有按照规定程序返工，处理不当，造成报废。 原因分析

由于操作前，没有检查钢瓶的阀门是否打开，而自己本来已经关闭阀门。这样造成PECVD工艺中没有反应气体，在发现工艺异常的情况下，私自泡酸返工，造成表面异常而报废。

解决办法

（1）在操作前，必须检查钢瓶的阀门已打开，一次压和二次压正常。

（2）在发现工艺异常情况下，必须停止操作，立即汇报工艺人员处理。 案例5

F3CG9012CL-66C 8片UDOCVD 膜厚严重超差，偏厚，造成表面开

裂报废。

原因分析

由于操作时，对已淀积CVD的圆片没有检查，误以为没有淀积，造成淀积了二次。

解决方法

（1）操作时，对上料的圆片的品种、批号一定要检查。

（2）对已做好的圆片检查品种、批号，及时装入待擦片的金属片架中。

（3）不能判断圆片是否已淀积，可测试圆片的表面氧化层的厚度来判断。

案例6

PWS-5000（2）号机在做准备工作时，发现热板上出现白雾，大量粉尘产生，并造成喷头堵塞。

原因分析

由于维修人员在做好PM后，N2阀没有打开，造成SiH4管路中含量过大，没有N2稀释。引起设备工作时产生大量的SiO2粉尘，堵塞喷头。

解决方法

（1）维修人员在设备做好PM管理后，对设备的条件（N2、O2流量、冷却水和排风等）要仔细确认正常后，才能挂上正常运行牌。

（2）操作员工在开机前检查准备工作时一定要按照设备操作规程的要

求，检查水、电、气是否已打开，并确认正常。

案例7

F3DD3149 出现玻璃烧结后，玻璃有严重色差，不平坦。

原因分析

由于玻璃电泳后出现掉粉现象，造成烧结后玻璃分布异常，出现上述现象。

解决方法

（1）对电泳后的圆片在显微镜下，检查玻璃电泳后的玻璃分布，可以

清楚的看出玻璃槽上的玻璃线条，是否有掉粉。

（2）出现掉粉的圆片，可以通过清洗去除电泳玻璃，重新电泳。

（3）必须适当添加玻璃粉（半缸或一缸）或添加剂（5mL）