2015-2022年中国精密测量仪器行业市场深度评估报告 - 图文(3)

有各类科技计划（专项、基金）或自由资金开发的试验仪器设备中择优，采取应用示范、实施后补助等方式，以使国产优质试验仪器设备得到广泛应用，市场占有率大幅提升，壮大我国试验仪器设备产业。 随着国家经济和高新技术产业的发展，现代试验机技术已成为我国的检测发展需求。建议在2020年前，以高校、研究所为主体，加强相关领域人员培养和共性基础研究；2021年到2030年，以企业为主体，在共性技术研究基础上，面向国民经济和科学研究，开展不同性能指标和特点的大型精密分析仪器的研制，实现产业化；到2030年，在量子计量标准与溯源。

2009-2014年中国精密测量仪器市场规模情况 年份 2009年 2010年 2011年 2012年 2013年 2014年 销量（台） 17343 27186 30114 26924 29614 36507 市场规模（亿元） 14.14 29.32 26.82 17.71 14.84 20.59 资料来源：智研数据中心整理

行业重点产品介绍： 1）激光干涉仪

上世纪60 年代He － Ne 激光器问世以来，由于其输出谱线窄，具有极好的时间相干性和空间相干性，为Machelson 干涉系统提供了最优异的光源。从大规模集成电路的制造，到数控机床的检测以及一些特殊测量控制系统，激光干涉仪的应用十分广泛，是当今精密检测和控制不可缺少的工具。

1971年，美国HP公司推出基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪产品，由于其具有测量精度高、范围大、使用方便等特点，很快就成为数控机床定位精度检测的最佳首选。此后，英国Renishaw、美国API、美国Optodyne等公司陆续推出了各自的激光干涉仪产品，垄断了国内市场。

从上世纪七十年代初期开始，国内相继有北京计量院、清华大学、北京科仪厂、沈阳仪器仪表所、上海计量局、新添光仪厂、昆明机床厂、哈尔滨量具刃具厂、陕西机械学院、北京机床研究所、成都工具研究所等十余家单位开始激光干涉仪的研制工作，但是由于各种原因，都难以形成产品。1987年，成都工具研究所采用国外商用激光器和自主研发的热稳频等关键技术，成功地将产品推向市场，打破了国外垄断。

近年来随着我国数控机床等激光干涉仪主要需求领域的蓬勃发展，国内激光干涉仪产品需求稳步增长，国内企业激光干涉仪行业投

资呈明显上升趋势。据统计我国激光干涉仪行业产能约为1220台/年，近年来我国激光干涉仪行业产能变动如下图所示：

2009-2014年我国激光干涉仪行业产能统计

资料来源：智研数据中心整理

据统计：2014年我国国内激光干涉仪产品产量达到1047台，国内表观消费量为1237台。

2009-2014年我国激光干涉仪供需分析（台） 年份 2009年 2010年 2011年 产量 558 650 733 进口量 255 236 248 出口量 45 49 38 消费量 768 837 943

2012年 2013年 2014年 887 944 1047 229 251 243 43 59 53 1073 1136 1237 资料来源：中国海关、智研数据中心整理

从大规模集成电路的制造，到数控机床的检测以及一些特殊测量控制系统，激光干涉仪的应用十分广泛，是当今精密检测和控制不可缺少的工具。随着科技发展，市场上出现了多种激光干涉仪系统。

部分激光干涉仪系统简介

产品 简介 1971年惠普公司推出了基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪，一是首次采用外差干涉技术，二是提出了遥置干涉仪（Ｒ基于纵emoteInterferometer）的概念。前者将位移信号转换成调频向塞曼信号，使整个干涉仪成为交流系统，具有极大的增益和抗干效应的扰能力，测量距离可达61m，宣传称即使损失99%的光能干双频激涉仪仍能正常工作；遥置干涉仪指将分光镜和定镜构成的干光干涉涉仪组件置于激光头之外，避免了激光器发出的热量影响测仪 量，这种热漂移影响往往能达到几十微米，也能最大程度消除测量时的闲程误差，这是保证激光干涉仪测量精度的重要措施。这两项技术有效解决了抗干扰问题，将激光干涉仪推

向实际应用 由于受到电子放大器的带宽和增益的限制，单频激光干涉仪单频激曾一度被忽视。上世纪80年代中后期，由于集成电路技术光干涉的发展，集成放大器的性能已经足够满足单频激光干涉仪的仪 需求，单频激光干涉技术再次被重视。 基于声光频移的双频Zygo公司推出的基于声光移频的双频激光干涉仪 激光干涉仪 基于双双折射频率分裂技术1985年由清华大学提出，研究基点在折射—激光器内部，人为控制激光器输出的频率间隔（不采用外部塞曼双办法），由此而研制出一些重要的光学仪器，如激光纳米尺、频激光激光频率分裂波片测量仪、激光回馈波片测量仪等。利用双器及干折射频率分裂技术支撑的双频激光器已经在激光干涉仪中得涉仪 到实际应用，成为新的分支 资料来源：公开资料整理

虽然近年来国内激光干涉仪产业取得了快速的发展，产能产量快速提升，但是产品生产大多集中在中低端产品领域，我国高端激光干