二极管生产工艺(3)

①角θ磨得越小，表面空间电荷区宽度拉得越长，表面电场强度越小，L>d，电压击穿首先发生在体内。

②表面最大电场强度不在PN结上，而是在低杂质浓度一边。角度θ越小，离PN结越远。

结论：正斜角对空间电荷区沿表面的展宽是有利的，因而能降低表面电场强度，提高表面耐压。斜面尺寸由低浓度向高浓度方向减小的磨角角度称为负斜角。负斜角的特点：

①90°～45°之间随θ变小表面电场强度增大。45°处表面电场强度达到最大值。在45°→0°，随θ变小表面最大电场强度下降。因此高压管必磨小负斜角。

②表面最大电场强度不在PN结上而是在高浓度一侧。

2.10．表面清洗与腐蚀

二极管和晶闸管的耐压特性，只有通过斜边腐蚀和清洗才能表现出来表面清洗，磨完角的芯片（管芯）必须经过去砂去油处理后，才能涂黑胶或直接做腐蚀。方法是水超和丙酮超。腐蚀方法及腐蚀原理。腐蚀方法有酸腐蚀法和碱腐蚀法，前者普遍适用，后者只适用于用镀镍浸锡工艺做的管芯或阴极、门极蒸多层金属的管芯。

2.11．斜边保护

斜边保护的作用：将裸露的PN结表面与外界隔离开来，以保证斜边表面状态稳定，减小表面漏电流，确保其长期可靠地运行。器件在保护后，其耐压特性不应下降，对于一些高压器件来说，也不应发生边沿处的表面放电现象（未保护前，不能在高压下测试）。保护后，表面漏电流应有所减小，并保持稳定，尤其在高温下，不应有因保护层未做好而产生附加的高温漏电流：保护层与硅（包括SiO2）应有良好的结合力，防潮湿、防腐蚀；保护层应有良好的化学稳定性和耐高低温循环的能力。

2.12．电子照射

管芯在做好斜边（面）保护之后进行电子辐照，能实现对芯子寿命的精确控制。电子辐照同掺金掺铂相比，有如下优点：

①辐照可在管芯制造完成之后，在低温下进行，辐照工艺清洁简单； ②电子辐照的剂量能精确控制，故重复性、均匀性较好；

③可以采用累加辐照的方法，易于调整使之达到器件特性所需要的值； ④辐照形成的深能级，可以在400°C以下退火消失掉，然后再重新辐照。

2.13．封装

封装就是把电特性合格的管芯密封到管壳中，并且引出电极线。封装的作用一是使管芯与周围的气氛隔绝，二是引出电极，从而保证器件的可靠性和稳定性。