第十章 透射电镜的结构与成像原理(5)

显微镜，可以选配能谱（EDS）、电子能量损失谱（EELS）、Z 衬度成像(HAADF）和原位拉伸试样台等配件。其主要技术参数如下： 1.信息分辨率极限 U-TWIN 0.10nm S-TWIN 0.14nm 2.点分辨率 U-TWIN 0.17nm S-TWIN 0.20nm

3.高分辨STEM分辨率 U-TWIN 0.14nm S-TWIN 0.19nm

4.样品最大倾角：S-TWIN +/-40°

FEI Titan 80-300 kV S/TEM是世界上功能最强大的商用透射电子显微镜 (TEM)。Titan 自 2005 年推出后便因其提供突破性成果的能力及其卓越的产品设计而备受赞誉。它已迅速成为全球顶级研究人员的首选 S/TEM，从而实现了 TEM 及 S/TEM 模式下的亚埃级分辨率研究及探索。

Titan 所具有的稳定性、高性能及简易性将把校正显微镜检查带入更高级别，从而使实现以不断缩小的比例来研究材料的结构和性质关系的新发现成为可能。Titan 系统通过不断拓展研究领域，以及帮助科学家与研究人员在纳米研究方面获得突破性成果，将把电子显微镜带入一个崭新时代。

主要技术参数： 1.TEM分辨率 <1 2.STEM分辨率 <1

3.能量分辨率 <0.15eV 或 <0.25eV 4.加速电压 80-300kV

冷场发射扫描电子显微镜（Cold Field Scanning electron microscope）

型号：JSM-7500F

技术参数

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)

2.加速电压：0.1KV-30kV 3.放大倍数：25-100万倍

4.样品室尺寸：最大200mm直径样品 5.束流强度：10-13到2*10-9 主要特点 1.主动式减震器；

2.最先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 ；

3.标配的五轴马达驱动全对中样品台；

4.全自动样品更换气锁； 5.全自动样品监控系统 ； 6.全自动物镜光阑； 7.多通道显示系统； 8.自动减速系统标准配置；

7. 部分透射电镜的高分辨结果

上图是用JEOL-2010UHR 电镜做出来的高分辨像，该高分辨像是对一种有序的钙钛矿沿[01-1]方向成像时得到的，从照片中可以清楚地看到钙钛矿的A位离子清晰可见，因此其分辨率至少已经达到2.8埃。

下图是用FEI最新的电镜Titan 80-300 kV S/TEM做出来的扫描透射电子像（HAADF 高角环状暗场像），从图像中可以看出其分辨率已经达到0.8埃，而从傅立叶变换的结果来看，其实际分辨率最高已经达到0.63埃。这是用扫描透射（STEM）方式成像得到的非相干像的分辨率，当用普通的透射电子（TEM）成像方式成像时，其分辨率应该会更高。