中华人民共和国电子行业军用标准-硅外延片(2)

除非另有规定，试制检验应取适量的样本按规范表2规定的全部检验项目进行检验，不允

许出现不合格项目。 4.5质量一致性检验 4.5.1 检验批的组成

一个检验批应由相同牌号、相同规格、在基本相同的条件下生产、并在同一时间内提交检

验的外延片组成。 4.5.2质量一致性检验表格

质最一致性检验应按GJB 179一次抽样方案进行。检验项目、检验方法及可接受质量水 平(AQL)应符合表2的规定。当合同另有规定时按合同执行。

表2质量一致性检验

项 目 缺陷 厚度 厚度均匀性 载流子浓度 净裁流子浓度 均匀性 纵向载流子浓度 分布 要求的章条号 3.2.1表1 3.2.2 3.2.3 3.2.4 3.2.5 3.2.6 可按收受质量水平 (AQL) 1.0 6.5 6.5 6.5 6.5 6.5 检验方法的章条号 检查水平 4.7.1 4.7.2 4.7.2 4.7.3 4.7.3 4.7.4 Ⅱ

4.5.3不合格

按表2所列各检验项目全部合格的检验批为合格批。若有任何一项检验不合格则该批为 不合格。 4.5.4批的再提交

如果某一检验批被拒收，承制方可以剔除所有不合格品后重新进行检验。重新交付的检 验批应与正常批分开，并应清楚地标明“重新检验批”重新提交的批应采用加严检查方案。如

仍有不合格的项目则该检验批为不合格。 4.6包装检验

用目视法进行本规范第5章规定的包装和标志检验。任一运输包装箱不符合第5章的要 求时应拒收。 4.7检验方法 4.7.1缺陷的检验：

位错和堆垛层错密度的检验按SJ1550第3章方法进行。翘边检验方法按合同规定。表

l所列其它缺陷的检验按GB 6624规定进行。大点状缺陷采用大面积散射光源，点状缺陷采 用高强度狭束光源。

4.7.2厚度及其均匀性检验按SJ1550第2章方法进行。 4.7.3净载流解子浓度及其均匀性检验按SJ 1551方法进行。 4.7.4纵向载流子浓度分布检验按GB 6617方法进行。 5交货准备 5.1包装 5.1.1内包装

硅外延片应竖直、分立放置于塑料盒内，表面同向，防止沾污和振动，确保传递和贮存时不造成污损。每个盒外侧应帖标识，注明产品牌号、外延层厚度和载流子浓度、数量、生产批号及合同号。 5.1.2外包装

将装有硅外延片的若干个盒装入箱内，周围用软质填充料填充，使盒体在箱内不能自由移

动。放入装箱单和合格证书后加盖固封。包装箱应有足够强度，不易变形。

5.2运输和贮存

产品在运输过器中应防止化学物质腐蚀，碰撞和受潮。产品应贮存在干燥、洁净的环境 中。 5.3标志

每一包装箱外应注明： a． 制造厂名称； b． 产品名称； c． 数量； d． 合同号； e． 出厂日期；

f． 防震、防潮、防压标记。 6说明事项 6.1预定用途

本规范规定的硅外延片预定用于微波功率晶体管。 6.2订贷文件内容

合同和订单应载明下列内容： a． 本规范的名称、编号和日期； b． 牌号及其数量； c． 封装、包装方式； d． 其它特殊要求。 附加说明：

本规范由中国电子技术标准化研究所归口。 本规范由电子鄢第十三研究所负责起草。

本规范主要起草人：石志曾，张嘉萍，李戌德，吴福民，夏明颖。 计划项目代号：B25025。