中华人民共和国电子行业军用标准-硅外延片

中华人民共和国电子行业军用标准

微波功率晶体管用硅外延片规范 SJ 20514-1995

Specification for silicon epitaxial ware for microwave power transistor 1范围 1.1主题内容

本规范规定了微波功率晶体管用硅外延片的要求、质量保证规定和交货准备及有关规则。 1.2适用范围

本规范适用于微波功率晶体管用直径为38mm以上的同质硅外延片，其它半导体分立器 件同质硅外延片也可参照采用。 1.3牌号

硅外延片牌号由下列五部分组成： J一口--Sim口一口 1 2 3 4 5

第1部分用汉语拼音字母“J”表示军用； 第2部分用英文缩写字母表示外延方法； 第3部分用元素符号“Si”表示硅材料； 第4部分表示外延片结构； 第5部分表示晶向。 示例1：

J--VPE—Si—n/n<111>表示在<111>晶向的n型衬底上生长n型外延层的硅汽相 外延片。 示例2：

J--VPE--Si—n n/n/n-- <111>表示<111>晶向的n衬底上先生长n层再生长n层的 硅汽相外延片。

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2引用文件

GB 6617--86硅片电阻率的扩展电阻探针测试方法 GB 6624--86硅单晶抛光片表面质量目测检验方法 GB 12962--9l硅单晶 GB 12964--91硅单晶抛光片

GB/T 14264—93 半导体材料术语 GJB 179--86 计数抽样检查程序及表 SJ1550--79 硅外延片检测方法

SJ 1551—79 硅外延层电阻率测试方法（电容一电压法） 3要求 3.1 衬底

衬底应符合GB 12962和GB 12964的要求，晶向及晶向偏离按合同规定。 3.2 性能 3.2.1 缺陷

外延片缺陷的定义见GB/T 14264，其最大允许限度应符合表1的规定。

Φ38mm、Φ50mm外延片周边2mm环形区，Φ75mm、Φ100mm外延片周边3mm环形区内 为免检区，但崩边和翘边除外。

表l外延片缺陷限度

序 号 l 2 3 4 缺陷名称 位错个数1) 堆垛层错个数 滑移线 大点状缺陷2) 最大允许限度 lO/cm2 15/cm2 3条，总长度不大于硅片直经 硅片直经 mm 38 50 75 l 2 3 个 数 100 5 5 点状缺陷2) 硅片直经 mm 38 50 75 100 3 5 10 20 l 1 2 3 个 数 6 7 8 凹 坑 划 道 桔 皮 38 50 75 100 无 无

续表1

序 号 9 10 ll 12 13 缺陷名称 崩 边 翘 边 雾 表面沾污 背面沾污 最大允许限度 无 边缘凸起不得超过1/3外延层厚度 无 无 无

注：1）滑移线上位错不计入位错数。

2)点状缺陷包括打、粘附的微粒、凸起物、夹杂物、小丘、棱锥和蚀坑。

3.2.2厚度

外延层厚度按合同规定。 3.2.3厚度均匀性

若无其它规定，外延层厚度变化率应不大于5%。

外延层厚度均匀性由中心点及平行和垂直于主参考面的两条直径上距圆周为R/3处的 厚度测量值决定，按式(1)确定：

式中：

——所测厚度的最大值，μm； ——所测得厚度的最小值,μm。

???????????????(1)

3.2.4载流子浓度

外延层载流子浓度按合同规定。 3.2.5净载流子浓度均匀性

若无其它规定，当净载流子浓度N≥l×10cm时，外延层浓度变化率应不大于10%，而

当浓度N＜l×10cm时，变化率应不大于15%。

片内经向净载流子浓度变化由中心点及平行和垂直于主参考面的两条直经上距圆周R／

3处的测量值决定，按式(2)确定：

……………………………………(2)

式中：

——所测浓度的最大值，cm0 ——所测得浓度的最小值，cm。

-3-3

15

-3

15

-3

3.2.6纵向净载流子浓度分布

外延层纵向净载流子浓度分布模式按合同规定。 4质量保证规定 4.1检验责任

除合同或订单中另有规定外，承制方应负责完成本规范规定的所有检验。必要时，定购方

或上级鉴定机构有权对规范所术的任一检验项目进行检查。 4.1.1合格责任

所有产品必须符合本规范第3章和第5章的所有要求。本规范中规定的检验应成为承制 方整个检验体系或质量大纲的一个组成部分。若合同中包括本规范未规定的检验要求，承制 方还应保证所提交验收的产品符合合同要求。质量一致性抽样不允许提交明知有缺陷的产 品，也不能要求订购方接收有缺陷的产品。 4.2检验分类

本规范规定的检验分为： a． 试制检验； b． 质量一致性检验。 4.3检验条件

除非另有规定，各项检验均在下列环境条件下进行： 温 度：25±3℃； 相对湿度：不大于65%； 大气压力：86～106kPa。 4.4试制检验 4.4.1试制样本

根据本规范进行检验的试制样本应能代表随后生产的产品，并应符合本规范规定的所有 要求。 4.4.2抽样

试制检验的抽样由订购方规定。必要时，由承制方和订购方共同抽取。 4.4.3检验地点

除非另有规定，试制检验的地点应是有关主管部门认可的试验室或检测中心。 4.4.4判据