洁净室标准规格说1

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洁净室标准规格说明（一）

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目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格

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至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。

表1-2 美国联邦标准209E

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美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。

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表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准

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在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*10即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4

为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

表1-4 德国规格表

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表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ft）（以0.5u粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6

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表1-5 美国209D规定粒子数（上限值）

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*（）内之数值单位：个/M。

表1-6 美日洁净度级别换算

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除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。

表1-6 世界各国洁净度等级规格表

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*以0.5um为区别。

洁净室施工及验收规范JGJ71—90 之工程验收

点击：87 添加时间： 2007-8-27 10:01:33

第一节 一般规定

第5.1.1条 洁净室的工程验收宜分为两个阶段进行，即先进行竣工验收，再进行综合性能全面评定。 第5.1.2条 竣工验收和综合性能全面评定必须对洁净室进行性能检测。

第5.1.3条 竣工验收的检测和调整应在空态或静态下进行。综合性能全面评定的检测状态，由建设、设计和施工单位三方协商确定。任何一种检测得出的洁净度级别，必须注明检测状态。

第5.1.4条 在空态及静态条件下检测时，室内检测人员不应多于2人，均必须穿洁净工作服，尽量少走动。 第5.1.5条 竣工验收和综合性能全面评定由建设单位负责，设计、施工单位配合。

第5.2.1条 竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。

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第5.2.2条 洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求：

一、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定； 二、高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封； 三、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便； 四、净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；

五、洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；

六、送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可靠严密； 七、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封； 八、各种刷涂保温工程应符合有关规定。

第5.2.3条 净化空调器或空调器，排风系统，局部净化设备（各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等），空气吹淋室，余压阀，真空吸尘清扫设备，烟感、温感火灾自动报警装置，自动灭火装置，净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机试运转应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应符合现行国家标准《建筑安装工程质量检验评定标准》TJ305（通用机械设备安装工程）的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。

第5.2.4条 单机试运转合格后，必须进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不少于8h。系统中各项设备部件联动运转必须协调，动作正确，无异常现象。 第5.2.5条 竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目应符合下列规定： 一、通风机的风量及转数的检测；

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二、风量的测定和平衡； 三、室内静压的检测调整； 四、自动调节系统联动运转； 五、高效过滤器的检漏； 六、室内洁净度级别。

第5.2.6条 洁净室竣工验收时，施工（安装）单位应提出下列文件： 一、设计文件或设计变更的证明文件及有关协议和竣工图； 二、主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件； 三、单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表；

四、开工、竣工报告，土建隐蔽工程系统和管线隐蔽工程系统封闭记录，设备开箱检查记录，管道压力试验记录，管道系统吹洗（脱脂）记录，风管漏风检查记录，中间验收单和竣工验收单；

五、各单机试运转、系统联合试运转和第5.2.5条所列项目的调整检测记录。 第5.2.7条 竣工验收终了应作结论。 第三节 综合性能全面评定

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第5.3.1条 综合性能全面评定的性能检测应由有检测经验的单位承担，必须用符合要求的、经过计量检定合格并在有效期内的仪表，按本规范的方法检测，最后提交的检测报告应符合本规范的有关规定。

第5.3.2条 综合性能全面评定检测项目应按表5.3.2中排定的内容顺序确定，检测工作在系统调整好至少运行24h之后再进行。

第5.3.3条 综合性能全面评定检测进行之前，必须对洁净室和净化空调系统再次全面彻底清扫，但严禁使用一般吸尘机吸尘。清扫后由身着洁净工作服的人员擦拭表面，清洗剂可根据场合选用纯水、有机溶剂、中性洗涤剂和自来水，有防静电要求的，最后宜用沾有防静电液的抹布擦一遍。 第5.3.4条 综合性能检测时，建设、设计、施工单位均须在场配合、协调。 序号 项目 单向流（层流） 乱流洁净室

法净度高于100级 100级 洁净度100级及低于1000级

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