ESD作业规范 - 图文(4)

文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 16 OF 28 REV 2.0 5.9.6.2 防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施，例如接触或靠近静电敏感器件（ESSD）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗 散材料），不可避免的非静电材料必须远离静电敏感元器件30CM以上。 5.9.7 防静电工作台、地板使用与维护要求 5.9.7.1 防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态； 5.9.7.2 防静电工作台原则上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品，图纸、资料等应放入防静电文件袋中； 5.9.7.3 测量工具使用兆欧表， 测量台垫、地板和接地电缆等的电阻值； 5.9.7.4使用防静电剂喷涂工作椅、工具的绝缘部分，及非导体或非防静电的塑料容器、椅子坐垫和椅子靠背等； 5.9.7.5使用中性清洗剂或防静电剂清洁防静电台垫和地垫； 5.9.7.6对所有建筑地板使用防静电溶液进行维护保养； 5.9.7.7使用绝缘电阻测试仪每季度对静电地板进行测试记录，必要时在每批此产品投产前 检测一次。 5.9.8 落地设备的防静电技术要求 5.9.8.1 落地设备如SMT 、波峰焊机、清洗机、流水线等等应采用硬接地，即直接或通过一个低阻抗同防静电地线相连设备的接地线应采用截面积不小于1.0mm2的敷塑导线，接地线颜色为黄绿色线； 5.9.8.2具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应统一接入大地网，并使线体上任一点与 大地的接地电阻均小于4Ω； 5.9.8.3流水线的自动传送带应使用防静电材料(表面电阻参照5.10.3.1项)，并通过导线 或导体与线体连接。流水线的自动传送带常常通过金属的传送轮接到线体，金属 轮应定期清洁而保证皮带有效接地。 5.9.9 台式设备的防静电技术要求 台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等应通过台垫实施软接地，即在放置台式设备的工作台面上铺设防静电台垫，并将台垫有效接地。 5.10.1 工具的防静电技术要求 5.10.1.1带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型； 5.10.1.2防静电烙铁的金属外壳应接保护地，烙铁头必须具有硬接地通路，烙铁头的接地电阻要求＜4Ω，由于烙铁头的高温氧化问题，日常检查测试时烙铁头接地电阻＜20Ω可以接受。 a.防静电烙铁的检查频率:每月一次； b.防静电烙铁的检查指标:接地电阻； 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE c.防静电烙铁的检查仪器:万用表； d.防静电烙铁的检查部位:烙铁头到地的接地电阻； e.防静电烙铁的检查标准: ＜4Ω，可接受＜20Ω。 5.10.1.3电动批非电力线外壳部分应实行硬接地，也应定期检查 a.检查频率:每月一次； b.检查指标:接地电阻； c.检查仪器:万用表； d.检查部位:电动批到地接地电阻； e.检查标准: ＜4Ω，可接受＜20Ω ； 5.10.2 防静液喷涂作业要求 17 OF 28 REV 2.0 5.10.2.1 在EPA(ESD PROTECTED AREA)区域内的个别夹具、工装、工具等制作材料为非ESD材料，暂时无法替代也无法拿出EPA区域外，要求进行喷防静电液处理从而达到 防静电目的； 5.10.2.2 喷防静电液前应对非ESD材料表面进行清理干净，并在其表面均匀地喷涂一层防静电液，30分钟左右，防静液干爽后，通知ESD执行人员测试确认其摩擦后静电压应小于100V； 5.10.2.3 对EPA区域内的非ESD材料喷防静电液的频率为每月一次； 5.10.2.4 喷完防静电液后，操作者与确认人应签名确认，此表格张贴在不应防碍正常使用 位置，此表格有效日期为一年，一年后撕毁并贴上新的表格进行记录； 5.10.2.5 对于采用表面处理（防静电液）来提高起防静电性能的效果要保证每周检查并纪 录，并且要根据需要及时更新处理，一般处理周期不得少于每月一次。在每年相 对湿度小于30%的时间里，要保证更新处理频率至少每周一次; 5.10.2.6 防静电液原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆，不允许对产品和 器件进行防静电剂涂覆； 5.10.2.7 防静电液的使用必须进行试验测试，不能影响工装、装备、产品的电性能，避免漏电现象的发生。 5.10.3 静电敏感区域的防静电器材规范 5.10.3.1 防静电器材的技术要求 测试项目 防静电地极 接地电阻 （Ω） 接地母线与大地之间：＜4 表面电阻 体电阻 （Ω） （Ω） 系统电阻 （Ω） 摩擦电压 检测周期（至少） （V） 特级EPA 二级EPA 每1年 每1年 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 测试项目 接地电阻 （Ω） 与接地母线之间：硬接地＜4 仪器设备、装备、软接地 工具 51×10≤Rg＜1×10 与接地母1×10≤Rs＜1×10 949 18 OF 28 REV 2.0 表面电阻 体电阻 （Ω） （Ω） 系统电阻 （Ω） 摩擦电压 检测周期（至少） （V） 特级EPA 二级EPA 防静电地板 每月 每季度 线之间： 1×10≤Rg＜1×10 与接地母线之94 工鞋、鞋跟 腕带插孔座 ＜100 每季度 每半年 防静电烙铁头 间：要求＜4 可接受＜20 与接地母线之间：要求＜4 每月 每月 腕带内表面对电缆扣电阻： ≤20K； 每月 每季度 人体腕带腕带 接地电阻： 0.75×10≤Rg ≤35×10 66腕带外表面对电缆扣电阻： 每天每天（只（只检测腕检测腕带系 >1×10； 腕带连接电缆电阻： >0.8×10~<1.2 ×10 66 7 带系统电阻统电阻是否是否通过） 通过） 每天（只检测工 每天（只检测工鞋、鞋跟系统电阻是否通过） ＜3.5×10 7 鞋、鞋跟系统电阻是否通过） 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 测试项目 接地电阻 （Ω） 表面电阻 体电阻 （Ω） （Ω） 系统电阻 （Ω） 19 OF 28 REV 2.0 摩擦电压 检测周期（至少） （V） 特级EPA 二级EPA 每月 每季度 每批 （抽检） 台垫、地垫 ＜1×10 9 ＜100 1×10手指套 ≤Rs＜1×10 0.1×工衣、工帽、手套 108 ＜100 每批 （抽检） 10≤Rs＜16 每月 每季度 ×10(点与点、袖对袖、片与片) 11 工作椅 ＜1×10 （椅面对脚轮） 9 ＜100 每月 每季度 防静电周转1×1031×3 箱、托盘、器件盒 ≤Rs＜1×10≤Rv＜10 1×1039 ＜100 每月 每季度 1×10 1×10≤Rs39 防静电周转车 ≤Rs＜1×10（导轨槽） 1×1059 ＜1×10 9＜100 每月 每季度 防静电传送带 ≤Rs＜1× 1010 ＜100 文件编号DOCUMENT NO.: ESD防静电控制技术规范 PAGE 测试项目 接地电阻 （Ω） 表面电阻 体电阻 （Ω） （Ω） 系统电阻 （Ω） 20 OF 28 REV 2.0 摩擦电压 检测周期（至少） （V） 特级EPA 二级EPA 离子风机 台式（单头）离子风机距离风口30CM处检测： 衰减时间T±1000→±100V≤3s 离子平衡度：≤±30V 或参照仪器说明书 吊式（双头/三头）离子风机距离风口60CM处检测（如果单板距离离子风机小于上述测试距离时，以单板表面处测量数据为准）： 衰减时间T±1000→±100V≤10s 离子平衡度：≤±30V 注：EPA区域必须使用直流离子风机 每周 每周 备注：腕带插孔座、台垫、电批、电烙铁、离子风机、仪器设备、装备及工具要求按周期进行全检（安装有ESD数据采集系统的线体，并能提供每日各类仪器使用的监控数据，可不检测，静电垫接地电阻和静电手环可不检测），其余可采用抽样方式进行，抽样数量不少于5PCS,如果少于5PCS则全检。 5.10.3.2 腕带插孔到公共接地点之间的电阻值要求＜4Ω，公共接地点到静电线之间电阻要求＜4Ω； 5.10.4 防静电器材及其使用维护要求 5.10.4.1防静电台垫：在操作ESSD时，工作台上应铺设以防静 …… 此处隐藏：590字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……