材料现代研究方法(15EDS-WDX) (NXPowerLite)

材料现代研究方法!大师级教案!

能量分散谱(EDS)与波长分散谱(WDS)

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材料现代研究方法讲义

EDX原理図液体氮电子束

锂漂移硅Si(Li)检测器当X射线光子进入检测器后，在 Si(Li)晶体内激发出一定数目的 电子-空穴对。 产生一个空穴对的最低平均能量 ε是一定的，因此由一个X射线光 子造成的电子-空穴对的数目为 N, E N 入射X射线光子的能量越高，N 就越大。

FET

Si(Li)检测器 窗口 平行光管X射线样品

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EDX原理図液体氮电子束

前置放大器 主放大器脉冲 整形器

FET

Si(Li)检测器 窗口 平行光管X射线样品

多道分析器

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WDX原理図入射电子 分光晶体

检测器

样品

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定

性

分

析

EPMA:1分钟内同时完成定性 定量分析

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材料现代研究方法讲义

EPMA的高速定性分析

1分钟与定性分析同时进 行无标样定量

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波長(energy)分辨率

EDX:140eV WDX:20eV

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EDS峰的重叠FeKα

CrKα CrKβ MnKα

FeKβ CoKα

NiKα CrKβ

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WDX峰的分离FeKα

NiKαNiKβ

FeKβ CoKα CrKβ

CrKα

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稀土元素谱线的重叠

EDX

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用WDX分离稀土元素谱线

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在EDX中峰的重叠Pb Ba Ti Ba Ba Sb

Pb

Pb

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在WDX中Ti/Ba峰的分离Ti Ba

Ba

Ba

Ti

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波長(能量)分辨率的不同

EDXSi

AlMg

CaC O

FeTi

K

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波長(能量)分辨率的不同Si

WDXCa

Ca

Fe Al Mg

Ti

OCO O

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波長(能量)分辨率的不同

EDXS

WDX

Mo Mo S S